Новые материалы
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 73 74 75 76 77 78 79... 734 735 736
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Если поверхности соединяемых
кремниевых пластин покрыты тонким слоем «естественного» окисла, то они
обладают гидрофильными свойствами. В этом случае на соединяемых
поверхностях всегда присутствуют адсорбированные молекулы воды, и
решающую роль в соединении приведенных в соприкосновение при комнатной
температуре пластин играют водородные связи, образующиеся между
адсорбированными на поверхностях водяными молекулами. При последующем
высокотемпературном отжиге сформированные таким образом водяные
кластеры распадаются, молекулы воды диффундируют по границе
соединения на поверхность, оставляя достаточно прочные силаксановые связи
Si—О—Si, обеспечивающие образование монолитной композиции.
Если поверхность исходной
кремниевой пластины обработать в растворе плавиковой кислоты, то
присутствующий на ней тонкий слой естественного окисла растворяется, и
поверхность приобретает гидрофобные свойства. Для такой поверхности
характерно наличие поверхностных связей Si—Н, Si—Н2, Si—F.
Связи Si-H и Si—Н2 слабо поляризованы. В отличие от них
связи Si—F поляризованы достаточно сильно, имеют ионный характер и
локализованы в основном на химически активных участках поверхности
(ребра атомных ступеней, поверхностные дефекты). При приведении в контакт
гидрофобных поверхностей прочное соединение между ними реализуется за
счет образования связей типа Si—F, Н—Si. При последующем
высокотемпературном отжиге происходит десорбция водорода и фтора и их
последующая диффузия вдоль границы соединения на поверхность. При этом
связи Si-H и Si—F заменяются связями Si-Si. Так как связи Si—F
достаточно прочны, то они могут частично сохраняться на границе соединения
пластин даже после отжига при 1100 °С. Кроме того, при использовании
растворов HF с концентрацией более 30 % на соединяемых поверхностях может
происходить адсорбция молекул HF, которые препятствуют получению
прочного сцепления.
Если величины изгиба и/или не
плоскостности соединяемых пластин не превышают некоторых критических
значений, то возникающие при приведении в контакт поверхностей пластин при
комнатной температуре силы межатомного взаимодействия (и для
гидрофильных, и для гидрофобных поверхностей) достаточны для того,
чтобы обеспечить «стягивание» пластин и надежное их сцепление по всей
площади соприкосновения. Однако при этом пластины упруго
деформируются. В процессе последующего высокотемпературного отжига
возникающие упругие напряжения могут релаксировать с образованием
дислокационных скопле- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 73 74 75 76 77 78 79... 734 735 736
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
