Предисловие....................................................................................5
1. Нанокристаллические
материалы................................................7
1.1. Нанопорошки: получение
и свойства................................ 11
1.2. Объемные
наноструктурные материалы ............................. 15
1.3. Производство и
коммерциализация наноматериалов.......35
2. Материалы микро- и
наноэлектроники...................................37
2.1. Актуальные проблемы технологии
и материаловедения
полупроводников...............................38
2.2. Структуры
металл-диэлектрик-полупроводник.............. 114
2.3. Приборы и технология
на основе непланарного
кремния.................................................................................
157
3. Композиционные
материалы......................................................185
3.1. Основные определения и
классификация композиционных
материалов............................................. 186
3.2. Металлические
композиционные материалы................... 194
3.3. Углерод-углеродные
композиционные материалы..........227
3.4. Керамические
композиционные материалы.....................243
4. Порошковые
материалы и изделия
на основе железа..............................................................................258
4.1. Производство железных
порошков...................................262
4.2. Порошковые
стали..............................................................273
4.3. Тенденции при
производстве порошковых деталей.......287
5. Металлы и сплавы
со специальными свойствами.......295
5.1. Жаропрочные
сплавы..........................................................297
5.2. Конструкционные стали
и сплавы повышенной
надежности...........................................................................329
5.3. Сплавы специального
назначения.....................................371