Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 324 325 326 327 328 329 330... 423 424 425
|
|
|
|
15 О ПС ^1 ] '5/7 1 ЭР а/ QJ Рис. 11.22. Схема образования аморфного {Ам) слоя в алюминии после имплантации и импульсной обработки {4]: ЖФ — жидкая фаза; ЗЯ — зона превращений; ГГС — поликристаллический слой; ТФ — твер^ дая фаза; ЭР — эпитаксиальный рост Второй ВЫВОД касается образования необычной слоистой микроструктуры. Упомянутый выше алюминиево-никелевый сплав был образован с применением ионных пучков различной энергии для того, чтобы получить максимальную концентрацию никеля на поверхности кристалла алюминия и ее уменьшение с глубиной. Для моноэнергетичного пучка профиль распределения никеля будет приближенно описываться распределением Гаусса с максимумом, расположенным ниже поверхности, что справедливо даже для сравнительно высоких доз ионов никеля (/^10^7 см-2), поскольку ИЗМЄНЄНИЄ профиля, обусловленное рас-пылением матрицы, невелико. Как показано на рис. 11.22, могут появиться условия, при которых концентрация никеля достаточна для формирования аморфной фазы в слое, однако выше и ниже (по глубине) этого слоя сплав остается кристаллическим {Кр). При этом условии кристаллическая затравка, необходимая для эпитаксиального роста {ЭР) во время перекристаллизации, пропадает после лостиженяя границей раздела расплав — твердое тело аморфного слоя. В результате поверхностный слой будет зарождаться хаотично, образуется поликристалл. Более того (если изложенные выше рассуждения корректны), только 6% никеля будет достаточно, чтобы блокировать эпитаксию, даже если при этом не образуется аморфный слой при имплантации. Это предсказание подтверждается рис. 11.23, на котором приведены электронограммы и электронно-микроскопические снимки, показывающие, что при 6 и 14% никеля поверхностный слой алюминия поликристаллйчен и ориентирован случайно, в то время как при более низких концентрациях никеля наблюдается хороший эпитаксиальный рост [4]. Таким образом, в этом сплаве после импульсной обработки предпочтительно образуется специфическая микроструктура, состоящая из тонкого аморфного слоя, покрытого тонким поликристаллическим слоем, и оба эти слоя расположены на монокристаллической подложке. Третий вывод относится к наблюдению только аморфных и алю-миниево-никелевых фаз в интервале концентрации никеля 6... 30% после импульсного плавления. Из равновесной фазовой диаграммы можно ожидать в дополнение к образованию фазы AlNi выделения промежуточных кристаллических фаз AlsNi и AbNis. В этом случае закалка происходит из несмешиваемой жидкой системы в области двух фаз, где можно ожидать появления выделений в жидком алюминии, если время достаточно для их зарождения. Из экс-326 Ю
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 324 325 326 327 328 329 330... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
