Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 321 322 323 324 325 326 327... 423 424 425
|
|
|
|
э[ОМу здесь обсудим комбинированное влияние ионной имплантации и импульсной обработки на образование аморфных фаз. Проиллюстрируем формпроваиие аморфных фаз п алюминии после импульсного нагрева до плавления на примере имплантации ионон никеля. Для этого случая известно, что алюминий может перейти в аморфную фазу при имплантации ---'IS... 30% Ni, в то время как после плавления импульсным электронным пучком аморфная фаза может образоваться при б% Ni. Данные, полученные с помоплью техники каналирования, приведены на рис. 11.20. Спектр на рис. 11.20, а относится к имплантированному сплаву, концентрация никеля в котором уменьшается от 30% вблизи поверхности до меньших значений в глубине образца. Такое распределение примеси было достигнуто применением ионных пучкои с различными энергиями (160, 80 и 40 кэВ). На рис. 11.20, б показан спектр того же образца после импульсного плавления. На ри ( }г 15" h,A WOO О б) Неміиалиробаииьіи г U0 КаиапироВанныи Ai Or-32" Е^МзВ Рис. 1L20. Спектры каналированных ионов для алюминия, имплантированного ионами никеля дозой 2,8* 10^' см"^ 50^ї")^^^^ имил?1нтацйи; О — после обработки импульсным электронным пучком (2,8 Дж/см-\ IP 323
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 321 322 323 324 325 326 327... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
