Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 422 423 424 425
|
|
|
|
Были выполнены предварительные исследования электрохимической поляризации и сульфидирования поликристаллических подложек меди, легированных лазерным облучением Сг и Cr + Ni. В электрохимических экспериментах образцы, содержащие 5,..107о Сг, испытывались при анодной и катодной поляризации в одномолярном растворе серной кислоты. Полученные развертки потенциала свидетельствуют о том, что на поверхности формируется тонкая пленка окиси хрома, оказывающая защитное действие против анодного растворения. Однако, это защитное действие подавляется при катодной поляризации, при которой восстанавливается окисная пленка. В опытах по сульфидированию образцы выдерживались во влажной атмосфере очищенного воздуха с контролируемым содержанием сернистого водорода. Хотя некоторое количество сульфида меди и обнаруживалось на поверхности легированных лазером образцов, но качественно можно было считать их инертными в данных условиях по сравнению с обычными медными сплавами. 13.5. Силициды металлов Одной из очевидных областей применения лазерного легирования является изготовление металлических контактов на кремнии,, чтобы получить омические или шоттковские электрические контакты. Первые исследования образования силицидов при лазерном легировании были выполнены Поутом и др. [21], которые применяли пленки платины, палладия и никеля на кремнии, облучаемые (Nd—АИГ)-лазером с модулированной добротностью. Поверхности оплавлялись до получения очень однородных в сечении слоев сплава, средний состав которого мог быть изменен в широком диапазоне при изменении толщины пленки и мощности лазера. Обработанный слой, однако, имел не однофазную структуру, а зернистую с размером зерна —100 нм. Эти зерна образовывались в результате конституционного переохлаждения, что обсуждалось в гл. 4, а также в результате исключительно низкой растворимости металлов в кремнии в твердом состоянии и низких коэффициентов сегрегации. Как показано в работе '{22], однофазные силициды можно получить нагревом в твердой фазе с помощью лазеров непрерывного действия. Недавно в работе [23] было предложено использовать различие в отражательной способности пленок металлов и их силицидов для оптических запоминающих устройств. По оценке авторов этой работы, разность отражательных способностей палладия и сплава Pd—Si достигала 53%. С помощью лазерного легирования можно нанести темные точки силицида па светлую поверхность металлической пленки. Успешное использование такого метода будет зависеть от термической стабильности металлических пленок на кремнии при многолетнем хранении. 423
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 422 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
