Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 420 421 422 423 424 425
|
|
|
|
Рис. 13.15. Спектры обратного резерфордовского рассеяния и каналирования многослойных пленок Си—Сг на монокристалле 110 Си (см. схему в верхней части рисунка) до и после обработки с помощью Nd— АИГ-лазера с удвоением частоты и модулированной добротностью: а — исходная структура; б — перемешанная лазером зона, эпитаксиально рекристаллизованная от поверхности подложки 110 Си; І — общий спектр; 2 —спектр для U0 ванной добротностью. На рис. 13.15, а приведены спектры для "сэндвича" Cr-1-Cu и подложки до обработки лазером. Разрешение по массе обратного рассеяния и разрешение детектора таковы, что многослойная структура не обнаруживается. Для рис. 13.15, б характерно резкое изменение спектров после лазерной обработки. Хром диффундирует до глубины 2400 А (240 нм) с максимальной концентрацией 18% на глубине 700 А (70 нм) и средней концентрацией 8%. Поверхностный слой имеет эпитаксиальную струк-'ГУРУПо-видимому большинство атомов хрома образует узлы замещения. Однако из-за большой степени деканалирования в данном деформированном слое трудно количественно оценить степень замещен-ности. Чтобы охарактеризовать микроструктуру слоя, слоистые пленки после лазерного перемешивания исследовались методом просвечивающей электронной микроскопии. Для таких исследований образцы сканировались в растр таким образом, что перекрытие было неполным и проплавлялись отдельные пятна. В светлом поле просвечивающей электронной микрофотографии (рис. 13.16) направление пучка близко к ориентации Си (110). Центральное светлое пятно соответствует кольцевой зоне проплавлення лазером диаметром ^8 мкм. На периферий пят 2 (Г) 11 12 1.3 1Л 1,5 £,МзЧ 421
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 420 421 422 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
|
|
|
