Материаловедение в микроэлектронике
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 48 49 50 51 52 53 54... 140 141 142
|
|
|
|
жет быть получена гладкая граница раздела с собственным расплавом. Меж фазная поверхностная энергия и краевые углы емачивания. Если капля жидкости находиIси в контакте с поверхностью твердого тела, то форма капли определяется известным уравнением для угла смачивания 0: сое 6 = ^^,(4-3) Предполагается, что эго уравнение выведено для равновесных условии. Здесь индексы: / — твердая поверхность; 2— жидкость, 5--газовая фаза. Температура пливления, К Рис. 4-3. Корреляция между скрытой теплотой и температурой плавления. / ГКЦ I! ГПУ; ? ОЦК; 3 кммлептпие решетки; 4 — Тг и С1*. Величина у12 в (4-3) характеризует межфазное поверхностное натяжение. В зависимости от этой величины определяется степень смачивания расплавом твердой поверхности. Форму жидкой частицы на поверхности характеризуют отношением ее толщины к к размеру в плоскости подложки /: п _(Тгз Ч~ У12—Ун)/л л\ '(У23 — VI" + Т13)"1 " ' Из (4-4) следует, что отношение /г// минимально в случае хорошего смачивания при у^-^О. Если поверхность и жидкость состоят из различных тчпсств. то хорошее смачинаиие возможно лишь при (723+712—7із)-0, что осуществимо, если 7гз7із. По следнее имеет место на подложках с высоким поверхностным натяжением (например, металлы) для капель различных жидкостей с низким поверхностным натяже ниєм. Межфазное поверхностное натяжение может быть представлено в виде суммы двух величин [23]: Здесь 7' и у"— поверхностные натяжения во внешних слоях соприкасающихся фаз; ш' и п" — м-мирные поверхности фаз по обе стороны границы раздела: /V,---число атомов /-того сорта; С"*/С*— коэффициент распределения /-того компонента, равный отношению рас-творимостей этого компонента в фазах; и';, а"; — "струк турный" коэффициент (' того компонента по обе стороны границы раздела. При достаточно малой взаимной рай творимости (4-5) переходит в соотношение поскольку каждую из фаз в этом случае можно считать однокомпонентной. Соотношения (4-1) — (4-5) позволяют рассмотреть закономерности смачивания пе только для близких по свойствам п^р веществ, но и с существенно различными парциальными растворимостямн С',. С"ь Зависимость у% МДж/м2, от коэффициента распределения С/С" [23] Т. к С/С" 10 I | ю-" КГ2 к ю-" 19"= І0Г" 1000 300 10 л 20 6 30 9 40 12 50 15 60 18 70 21 88 24
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 48 49 50 51 52 53 54... 140 141 142
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
