Материаловедение в микроэлектронике
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 50 51 52 53 54 55 56... 140 141 142
|
|
|
|
Шероховатости характеризовать коэффициентом Кш, то соотношение для Ду примет вид [76]: ДУ =А:ш(Т.з —Уп) —Т2,(4-11) или, если учесть (4-3): Лу=(^ш соэво— 1 )угз-(4-12) Если по твердой поверхности растекается жидкий расплав, то кииетика растекания может быть описана соотношением г \ п Г'д х J В этом выражении /к(/) -раднс распространяющейся капли в некоторый момент /; I] и 6 —вязкость и плотность металла в жидком состоянии; у. — безразмерный критерий, учитывающий форму растекающего слоя. Термомеханический эффект [30]. При возникновении на пути растекания градиента температур появляется дополнительная движущая сила, которая либо складывается, либо вычитается из Ду. При больших градиентах движущая сила, возникающая в результате тег момеханического эффекта, может значительно превосходить движ\ щую силу, действующую при растекании н обычных условиях при постоянной температуре. Большую роль при растекании играет слой жидкости, непосредственно прилегающий к твердой поверхности, по которой происходит растекание. Этот слой называют пристеночным слоем, т. к. его свойства (скорость движения, плотность и термодинамические свойства) существенно отличаются от свойств расположенной под ним жидкости. Эффект описывают, исходя из основного уравнения: АР(Э* Здесь С)* — удельная теплота переноса, представляющая собой разность удельных энтальпий жидкости с пристеночным слоем и жидкости без пристеночного слоя: V—удельным объем; Г--температура перемещающейся жидкости. Величина АР — разность давлений или собственно величина, характеризующая термомеханический эффект. Она может быть определена из соотношения 10. / ДЛДГ .А/\=*^--—•(4-14) где б — плотность жидкости. В (4-13) принимается, что ?* = С, (Яг—Я,)=С,ДЯ,, где С, — концентрация вещества в пристеночном слое; Я, и Я2 — соответственно удельные энтальпии жидкости в пристеночном слое н и вдали от него. Концентрация С, равна отношению толщины пристеночного слоя / и общей толщины растекающего слоя г: С\ = 1/г.(4-15) Межфазная граница расплав — твердое тело в случае их взаимодействия. Этот случай реализуется, когда жидкость состава С, сплава, состоящего из компонентов А] и А2, находится в контакте с кристаллом, состоящим из тех же компонентов при некоторой температуре Т. Простейшая ситуация создается для системы Л,—Л2 с диаграммой состояния, отвечающей неограниченной взаимной растворимости компонентов в твердом и жидком состояниях. Система из двух веществ находится в равновесном состоянии, когда химические потенциалы компонентов, температура и давление в каждой из фаз одинаковы. Если межфазная свободная энергия достаточно велика, то смачивание жидкостью твердой поверхности в такой системе может быть описано уравнением (4-1). Во многих случаях система из двух фаз, разделенных межфазной поверхностью, находится в термическом и механическом, но не химическом равновесии. Для таких систем химические потенциалы компонентов в обеих фазах не равны:=/=цжг-. Пусть состав жидкой фазы — С'ж, а твердой фазы — С'тв. Приведение в соприкосновение жидкости состава С'ж и твердого тела состава С'тв дает начало процессу выравнивания уровней химического потенциала, которое может сводиться к растворению одного из компонентов или к различным химическим превращениям, после чего система переходит в равновесное состояние. При протекании необратимых процессов химической реакции межфазная шергия изменяется Г-П Жидкость, в свою очередь, мижет адсорбироваться на поверхности твердого тела Энергия связи атомов жидкости о поверхностью равна работе адгезии. Выделившаяся при реакции энергия Еп приближенно равна убыли межфазной энергии. Следовательно, в случае сильного взаимодействия атомов жидкости и твердого тела Ут-ж = Ут-г + Уж-г—£а-(4-16) К системам, описываемым уравнением (4-16), относятся: графит — жидкий металл группы железа (Ре, №, Со), графит — платина, графит — палладий. Чистый расплавленный № при 1500°С в первый момент после контакта с графитом образует сферические сегменты с краевым углом около 45°. После науглероживания
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 50 51 52 53 54 55 56... 140 141 142
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
