Материаловедение в микроэлектронике






Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу Материаловедение в микроэлектронике

Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .



Страницы: 1 2 3... 139 140 141 142
 

129.Палатник Л. С, Сорокин В. К. Основы пленочного полупроводникового материаловедения. М., "Энергия", 1973. 295 с. 130.Палатник Л. С, Косевич В. М., Сорокин В. КО механизме эпитаксиальцого роста PbTe/NaCl. — "ФТТ", 1968, т. 10, вып. 8, с. 2465—2468. 1131. Гарофаль Ф. Законы ползучести и длительной прочности металлов и сплавов. М., "Металлургия", 1968. 132. Получение и исследование тонких пленок EuS. — "Изв. АН СССР. Сер. Неорганические материалы", 1973, т. IX, № 1, с. 42—45. Абт.: Л. С. Палатник, Г. В. Лошкарев, В. К. Сорокин, В. Е. Марин-чева, Л. П. Зозуля. 1313. Палатник Л. С, Фукс М. Я., Косевич В. М. Механизм образования и субструктура конденсированных пленок. М., "Наука", 1972. 319 с. 134. Richter н., Breitling G. Verschiedene Formen von amorfhen Selen. —"Z. Naturforsch.", 1971, Bd 26a, № 10, S. 1699—1707. 1135. Набитович H. Д., Осипова В. В. Микротвердость селеновых слоев и их аморфная структура. — "Физична електроиика", 1970, № 2, с. 74. 436. Асадов Ю. Г. О кинетике роста кристалла гексагонального Se из монокристаллов моноклинного при структурном превращении. — "Кристаллография", 1969, т. 14, № 2, с. 356. 137. Болотов И. Е., Муравьев Е. А. Начальные стадии кристаллизации сферолитов Se и механизм их образования. — "ФТТ", 1966, т. 8, № 5, с. ІІ685. ОГЛАВЛЕНИЕ Предисловие редактора...........3 Предисловие..............° Глава первая. Атомное строение твердого тела ...11 1-1. Межатомные связи и свойства материалов ....11 11-2. Дефекты кристаллического строения.....29 1-3. Аморфное и стеклообразное состояния ....37 Глава вторая. Поверхность как особая область твердого тела...............47 2-1. Атомарио-чистая поверхность ....47 2-2. Адсорбция иа поверхности........60 Глава третья. Поверхность раздела двух твердых фаз67 3-1. Свойства поверхности раздела при отсутствии взаимного проникновения граничащих фаз.....67 3-2. Диффузия и электродиффузия через поверхность раздела.............75 3-3. Реактивная диффузия.........90 Глава четвертая. Поверхность твердого тела в контакте с жидкой фазой...........95 4-1. Межфазные явления "а границе расплав—твердое тело95 4-2. Физико-химические процессы иа границе раздела раствор — твердое тело..........Ю4 Глава пятая. Основы вакуумного материаловедения .108 5-|1. Формирование в вакууме газодинамических потоков и молекулярных пучков.........108 5-2. Ионно-плазмеиный метод в микроэлектронике . .115 5-3. Неравновесные состояния в пленках.....125 Глава шестая. Пленочные материалы......143 6-1. Проводящие пленки..........143 6-2. Магнитные пленки..........161 6-3. Сверхпроводящие пленки........174 6-4. Резистивные пленки.........181 Глава седьмая. Химические методы иаиесеиия пленок .196 7-11. Выращивание эпитаксиальных пленок методом химической кристаллизации.........196 7-2. Дефекты кристаллического строения в эпитаксиальных пленках............210 7-3. Легирование эпитаксиальных пленок в процессе роста223 Глава восьмая. Проблемы материаловедения в области пленарной микроминиатюризации......228 8-1. Современные методы планарной технологии в микроэлектронике ............228 8-2. Создание и использование активированного состояния при обработке материала ионными пучками . . .238 8-3. Световые и электронные лучки и их воздействие на материалы............249 Список литературы............268
rss
Карта
 






Страницы: 1 2 3... 139 140 141 142

Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу


Новые сварочные источники питания: Сб. науч. тр.
Общетехнический справочник
Упрочнение и отделка деталей поверхностным пластическим деформированием: Справочник
Материаловедение в микроэлектронике
Технология и свойства спеченных твердых сплавов и изделий из них. Учебное пособие для вузов
Вентиляция рабочих мест в сварочном производстве
Сварка порошковой проволокой

rss
Карта