Материаловедение в микроэлектронике
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 51 52 53 54 55 56 57... 140 141 142
|
|
|
|
расплава контактный угол возрастает до 120°, а межфазное натяжение в равновесных условиях возрастает в несколько раз [22]. 4-2. ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ НА ГРАНИЦЕ РАЗДЕЛА РАСТВОР—ТВЕРДОЕ ТЕЛО Растворение твердого тела в растворе представляет собой последовательность стадий, включающих подвод реагирующих частиц, взаимодействие этих частиц с поверхностными, удаление в раствор продуктов реакции и т. д. Если весь процесс условно разбить на я стадий, то в простейшем случае скорость каждой из стадий ие будет зависеть от условий протекания других стадий. Эффективное время превращения некоторого количества вещества т будет равно: Т( = от/Шг, где (дг— скорость превращения. Время полного превращения для этого количества вещества ял (=1 г=1 Если одна из стадий характеризуется существенно меньшей скоростью протекания превращения сод, то общее время Стадия, соответствующая сод, является лимитирующей для процесса. Для реальных гетерогенных реакций на поверхности раздела раствор — твердое тело лимитирующей стадией является подвод продуктов реакции. Нернстом сформулировано правило диффузионной кинетики гетерогенной реакции: а=-Т-(С„-С.),(4-17) "д где Д — коэффициент диффузии компонента реакции, концентрация которого в объеме равна Сь, вблизи поверхности Сп; йл — толщина слоя, через который происходит выравнивающая концентрацию диффузия. Предполагается, что Сп соответствует концентрации насыщенного раствора этого компонента. В случае реакции на поверхности пластины, помещенной в раствор вертикально, и при перемешивании в результате естественной конвекции поток вещества от поверхности в глубь раствора равен: а, = 0,7Д(^—^ (-5^ ^ТТГ.(4-13) Здесь g — ускорение силы тяжести; х— высота пластины; ук — кинематическия вязкость. Микроскопический механизм растворения твердого тела с ковалеитиой связью в качестве первоначальной стадии включает в себя акт адсорбции частицы раствора Агв + 1-*(А-ЦТВ-*\А+Ц*-*Аж.(4-19) В соответствии с реакцией (4-19) акт адсорбции предполагает образовалие на поверхности твердого локального комплекса (А—/.)тв. Процесс образования этого комплекса сопровождается . выделением энергии хемосорбции, которая частично или полностью затрачивается затем на возбуждение комплекса (А—/.)тв—*-[Л+£]*. Возбужденный комплекс [А+£]* легко отрывается от поверхности. Исходный комплекс А состоит обычно из нескольких атомов и представляет собой элементарную структурную единицу твердого тела (аналогичную сложной молекуле), принимающую участие в акте растворения. В ее химической и структурной формуле отражены стехиометрия и характер ближнего порядка в решетке твердого тела. В настоящее время экспериментально установлены структура и химический состав комплексов, принимающих участие в растворении для ряда твердых тел. Элементарные химические комплексы реакции растворения [31]: ВеществоСтруктурная химическая формула Селен Мышьяк—Ав; -Оебе ГерманийЄе \ / \ / —:ЄеОе Арсеиид галли —Аэ—ва—Аа—ва£^ Селенид мышьяка\/ А8 Скорость процесса реакции определяется в предположении, что активированный комплекс распадается иа конечные продукты с частотой колебания связи, удерживающей комплекс на поверхности [33]: со = /^-^-ехр(-^-).(4-20)
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 51 52 53 54 55 56 57... 140 141 142
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
