Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 96 97 98 99 100 101 102... 423 424 425
|
|
|
|
Ко' ід V Рис. 4.7. Схематическая зависимость коэффициента распределения на границе раздела от скорости кристаллизации и 1дк\разделены зоной критических ско ростей t^Kp. Определение значений Vkp и k'nac являются ^ наи-более важной задачей любой теории, описывающей процесс. Как будет обсуждено ниже, величина k' определяет максимальную концентрацию примеси: если fe^U то нестабильность межфазной границы из-за концентрационного переохлаждения ограничит количество примеси, которое может быть захвачено в узлах решетки. ЕслИ,/г'нас=1, то предельную кон центрацию примеси, как в случае бора в кремнии, ограничивают другие процессы, например механическая деформация. Определение Dkp и ее зависимости от различных параметров должно выявить роль термодинамики в определении k'. Чтобы выполнить исследования в широком диапазоне скоростей v (0,1 ...20 м/с) в условиях тщательного контроля и воспроизводимости результатов, необходимо выявить роль параметров эксперимента, которые могут меняться при лазерном облучении. Большинство функциональных зависимостей могут быть качественно выведены с помощью простой аппроксимации. Однако точное значение скорости затвердевания можно получить только численным решением уравнения теплопроводности (см. гл. 2 и работу [27]). Эти расчеты показали, что при облучении температура в приповерхностной зоне возрастает и наступает плавление поверхности образца. После того как проплавление поверхностного слоя достигнет максимальной глубины и начнется затвердевание, температурный градиент в жидкой фазе будет незначителен. В этих условиях скорость затвердевания определяется скоростью, с которой энтальпия плавления АНт отводится из расплавленного слоя dT dx (4.3) dT dx — градиент темпе где р — массовая плотность материала; ратуры в твердой фазе на границе раздела; й —коэффициент теплопроводности в этой зоне. Градиент температуры определяется подводом энергии и процессом диффузии. Энергия лазерного излучения выделяется в слое, глубина которого определяется, как длиной поглощения а^^ (где а — коэффициент поглощения лазерного излучения), так и длиной термической диффузии V2Dx, где —коэффициент температуропроводности (^ 10-1 см^/с для кремния), а т — длительность имев
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 96 97 98 99 100 101 102... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
