Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 91 92 93 94 95 96 97... 423 424 425
|
|
|
|
в твердой фазе. Однако если первоначальное распределение примеси По неоднородно, как в случае ионной имплантации, то требуется численное решение уравнения диффузии, чтобы определить распределение примеси в твердой фазе. При отжиге импульсным лазерным излучением подводимая энергия вызывает плавление приповерхностного слоя на глубину, которая зависит от плотности энергии, длительности импульса и толщины аморфной зоны (подробно подвод энергии, теплоперенос, проникновение фронта оплавления и скорость затвердевания описаны в гл. 2). По мере охлаждения расплава за счет теплоотвода в нижележащую подложку граница раздела жидкой и твердой фаз возвращается к поверхности со скоростью v, измеряемой в метрах в секунду. За время, в течение ко-c,w^^cM-^торого зона имплантации рас плавлена, внедренные примеси перераспределяются вследствие диффузии в жидком кремнии, поскольку в нем коэффициент диффузии Dc (-^10"-^ см^/с) намного превышает аналогичную величн ій?/? ЮОО 1500 2000 h,A 0,5 15 10 50 100 I Рас. 4.2. Профили концентрадии атомов С по глуб^ш^ h для Те (а), Си {б), Bi (в]^ имплантированных в кремний с ориентацией 100 и обработанных одиночным импульсом рубинового лазера. Штриховыми линиями Ї показаны данные численного расчета массопереноса при использовании коэффициента распределения на границе фаз как параметра аппроксимации, а кружками — опытные данные. Сплошные кривые 2 соответствуют профилям сразу после имплантации. Плотность энергии [24]: а 1,0 Дж/см2, ^' = 0,55, 6-1,0 Дж/см^. А'10-2; е-2.0 Дж/см^, ^^=0,3 Рис. 4.3. Расчетная доля примеси, перенесенной при сегрегации к наружному 10%-ному слою жидкости Л, в зависимости от приведенной толщины | = = FZ/(40i) при различных значениях k' [26] 93
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 91 92 93 94 95 96 97... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
