Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 90 91 92 93 94 95 96... 423 424 425
|
|
|
|
профилей концентрации примесей [10]. Эти коэффициенты определяются выражением k^=CJCt,(4.1) где Cs и Ci — концентрации примеси в твердой и жидкой фазах на границе раздела. При малых скоростях кристаллизации, когда затвердевание протекает в условиях локального равновесия на границе раздела, коэффициент распределения равен равновесному значению йо, определяемому выражением (рис. 4,1) ^0 — Ci (4.2) eq где Cs И Ci — концентрации в твердой и жидкой фазах (при заданной температуре), определенные из равновесной фазовой диаграммы. В процессе роста кристалла, если й':1, примесь будет накапливаться в жидкой фазе у границы раздела, но соотношение концентраций в твердой и жидкой фазах на границе будет равно k\ В условиях локального равновесия на границе раздела (т. е. при А^ = /го1) при содержании в жидкой фазе равномерно распределенной примеси с концентрацией По, как показано на рис. 4.1, первыми будут выпадать кристаллы с концентрацией примеси ^о^о-В процессе затвердевания примесь будет накапливаться в жидкой фазе у границы раздела до тех пор, пока в жидкости у данной границы не будет достигнута стационарная концентрация По/^оОстающаяся в жидкости примесь будет перемещаться в приповерхностные зоны и это приведет к появлению пика ее концентрации на поверхности. Аналитические решения для случая, показанного на рис. 4.1 ^равномерное распределение примеси в расплаве, постоянная скорость перекристаллизации в ус По ловиях локального равновесия, массоперенос только за счет диффузии в расплаве), были опубликованы в работе [23], и требуется только знать значения Яо, k^y Di и v, чтобы определить распределение примеси Рис. 4.1. Взаимосвязь между фазовой диаграммой, коэффициентами распределения ko~CslCi и затвердеванием. В правой части показаны профили концентрации примеси в жидкой и твердой фазах на различных стадиях затвердевания в предположении ^оС 1: Ж — жидкость; ТТ — твердое тело; С — концентрация; Л — толщина слоя; Т — температура 92
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 90 91 92 93 94 95 96... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
