Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 81 82 83 84 85 86 87... 423 424 425
|
|
|
|
роста кристалла. Функция стабильности 5 в неявном виде учитывает влияние поверхностного натяжения и переохлаждения на границе раздела. Первый фактор несуидествен при малых скоростях роста, однако второй необходимо учитывать для материалов, тре-буюіцих для роста больпіих переохлаждений. При высоких скоростях роста поверхностное натяжение оказывает влияние на возникновение нестабильности. Нестабильность, связанная с концентрационным переохлаждением, приводит к образованию "ячеистой" структуры [17]. Размер ячеек в первом приближении определяется диффузионной длиной D/v. в зависимости от условий роста могут наблюдаться более или менее значительные отклонения, но обычно они укладываются в интервал, получаемый умножением указанной величины на л. При малых скоростях роста jD/v= 10-V10~2= 100 мкм. Такое значение характерно для ячеек в кристаллах, выросших при обычных скоростях [17]. При лазерном отжиге I)/v= lO^VlOO^ ^100 А [37]. Ячеистые структуры, возникающие при лазерном отжиге кремния, более подробно обсуждаются в гл. 4. 3.9. Дефекты, возникающие при лазерном облучении Лазерное облучение кремния, вызывающее короткие тепловые импульсы, устраняет радиационные дефекты и даже аморфный слой, образовавшийся при ионной имплантации, если только глубина оплавленного поверхностного слоя больше толщины дефектной области. Процесс перекристаллизации развивается после оплавления в направлении к поверхности и может дать высокое качество кристаллической структуры. Напряжения, связанные с температурным градиентом, не приводят к образованию дисло--каций. Непрерывный лазерный нагрев, приводящий к образованию столбика расплавленного материала в облучаемой пластине, вызывает механические повреждения, проявляющиеся в виде интенсивного" скольжения вокруг нагретой области. Описанные особенности могут быть объяснены исходя из анализа напряженного состояния^ возникающего в двух рассмотренных случаях, и механических свойств кремния. При комнатной температуре кремний не может деформироваться за счет движения дислокаций. Для обеспечения подвижности дислокаций в кремнии необходим нагрев на несколько сот градусов по Цельсию. По-видимому, сочетание короткого времени и малой величины нагретого объема позволяет избежать повреждений при импульсном лазерном отжиге. Значительные радиальные градиенты температуры, возникающие при плавлении сфокусированным пучком непрерывного лазера, вызывают высокий уровень напряженного состояния в объеме кристалла, достаточный для его необратимой деформации. 83
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 81 82 83 84 85 86 87... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
