Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 76 77 78 79 80 81 82... 423 424 425
|
|
|
|
3.5. Кристаллизация аморфного кремния ГООО Аморфный кремний может превращаться в кристаллический посредством фазового перехода в твердой фазе [3]. Как показано на рис. 3.10, аморфная фаза обладает большей свободной энергией, чем кристаллическая и поэтому при всех температурах, является нестабильной по отношению к ней. Оцнако прн температуре ниже 400Х фазовый переход идет очень медленно. Скорость перехода сильно зависит от температуры. Как показано на рис. 3.12, характер этой зависимости такой же, как в уравнении Аррениуса. В сравнении со случаем кристаллизации расплава скорость роста в рассматриваемом случае весьма мала. Скорость роста зависит от ориентации кристалла и уровня легирования. Зависимость ог уровня легирования является следстврг-ем зависимости между концентрацией примеси и подвижностью дислокаций в кремнии. При 500°С кристаллизация аморфной фазы происходит очень медленно. Аморфный слой толщиной ^1000 А,, возникший в результате имплантации,, может быть перекристаллизован посредством твердофазного отжига с использованием сканирующего лазера. Время перекристаллизации слоя толщиной 1000 А при температуре 11000... 1200^^0 составляет около 1 мс. Этот режим носиг название "твердофазной" лазерной перекристаллизации. 600 Рис. 3.12. Температурная зависимость скорости кристаллизации V в твердой фазе аморфного кремния 3-6. Взрывная кристаллизация При нагреве выше температуры плавления аморфная фаза может переходить в жидкую. Образующаяся жидкость будет находиться при температуре, значительно меньшей температуры кристаллизации, и таким образом может очень быстро кристаллизоваться. Ниже точки плавления аморфной фазы этого произойти не может, и, следовательно, переход должен происходить посредством трансформации в твердой фазе. Кристаллизация жидкости —экзотермический процесс. Плавление аморфной фазы происходит эндотермически, но количество поглощаемой при этом теплоты меньше, чем выделяющейся при кристаллизации. Таким образом, в принципе, если кристаллизация аморфной фазы началась, теплота плавления может разогреть окружающий аморфный материал до точки плавления и процесс бу 78
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 76 77 78 79 80 81 82... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
