Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 73 74 75 76 77 78 79... 423 424 425
|
|
|
|
Переходы между жидкой и аморфной фазами трудно исследовать экспериментально, поэтому их природа на сегодня не установлена. Это может быть переход первого или второго рода. В принципе фазовый переход от случайной структуры с четырьмя ближайшими соседями к жидкости с 11 соседями может происходить либо гомогенно и непрерывно по объему, либо при сосуществовании двух фаз и трансформации посредством движения границы раздела между ними. Хотя на сегодня и нет экспериментальных доказательств, но, по-видимому, данное фазовое превращение относится к переходу первого рода, поскольку сопровождается изменением симметрии. Можно возразить, что, поскольку обе структуры, являясь случайными, обладают псевдосферической симметрией, возможен непрерывный переход между ними. Однако локальная симметрия вокруг каждого атома различна и это позволяет предположить фазовый переход первого рода. В частности, Багли и Чей i[28], а также Спаепен и Тернбалл [29], исходя из предпосылки, что фазовый переход является переходом первого рода, провели оценку некоторых термодинамических свойств аморфной фазы. Полученные оценки, основанные на знании термодинамических свойств жидкофазного и кристаллического кремния и германия, достаточно близки между собой. Изменение энтропии, связанное с изменением разупорядочения в жидкости, близко для многих материалов и примерно равно R (энтропия измеряется в тех же единицах, что и газовая константа R). Это значение должно определять разность между энтропией кристаллической и аморфной фаз. Разность между энтропией жидкости и кристалла составляет 3,24 і?, поэтому изменение энтропии при переходе от жидкой к аморфной фазе составляет 2,24/?. На рис. 3.10 приведены относительные свободные энергии этих фаз. Зависимости для свободной энергии жидкой (ЖФ) и кристаллической (КФ) фаз пересекаются в точке плавления кристаллического кремния при температуре 1420°С. Свободные энергии жидкой и аморфной (АФ) фаз оказываются равными при 925°С, т. е. при Рис. 3.10. Температурная зависимость отношения свободной энергии Гиббса в аморфном и жидком кремнии к соответствующему значению для кристаллического кремния. Точки пересечения кривых указывают температуру равновесия трех фаз. Температура стеклования для аморфной фазы Tg зависит от интервала времени т, в течение которого проводится измерение 0,2 ОМ 0,6 0,8 1,0 1,5 Г/ 75
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 73 74 75 76 77 78 79... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
