Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 72 73 74 75 76 77 78... 423 424 425
|
|
|
|
Сплошные линии на рис. 3.9 были рассчитаны с использованием уравнения (3.18) и данных, приведенных на рис. 3.3. Qb принималось равным 0,7 эВ, что характерно для энергии активации диффузии в металлических жидкостях. Отношение ^Sm/R бралось равным 3,24, т. е. таким же, как для кремния и близким к значению для германия. Кривые построены при А = 0,1 v = 2 м/с и приводят к Qл= 1,45 эВ. Эта модель хорошо описывает как зависимость от скорости роста кристалла, включая насыщение при /^=0,3, так и ориентационную зависимость k. Проведенное сравнение теории и эксперимента впервые позволило получить информацию об относительной подвижности исходных и примесных атомов на границе раздела. 3.4. Аморфный кремний Кремний и германий являются необычными материалами в том смысле, что обладают двумя различными аморфными фазами. Низкотемпературная аморфная фаза, полученная при низкотемпературном ионном разрушении или при низкотемпературном осаждении, характеризуемая случайной структурой с четырьмя Олижай-шими соседями, сходна с кристаллом, координационное число у которого также равно четырем. С другой стороны, высокотемпературная фаза является типичной металлической жидкостью, в которой каждый атом имеет примерно одиннадцать ближайших соседей. Структура и фазовые переходы, возможные между кристаллической (х, КФ), жидкой (ЖФ) и низкотемпературной аморфной (а) фазами иллюстрируются данными табл. 3.1. Переходы между жидкой и кристаллической фазами подробно рассматривались выше. В следующем параграфе обсудим переход между аморфной и кристаллической фазами. 3.1. Фазовые переходы в кремнии Наименование Кристаллический кремний Жидкий кремний Аморфный кремний Структура Число ближайших соседей Стабильность Переходы Алмаза кубическая (Правильная тетраэдр ическая) 4 Стабилен ниже Тип Выше гпл переходит в жидкий Переходит в а-фазу при ионной имплантации Металлической жидкости -и Стабилен выше т'пл Ниже тпл перехо дит в кристаллический Переходит в а-фазу при очень быстром охлаждении Случайная тетра-эдрическая Метастабилен При нагреве переходит в кристаллический При очень быстром нагреве переходит в жидкий 74
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 72 73 74 75 76 77 78... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
