Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 71 72 73 74 75 76 77... 423 424 425
|
|
|
|
12 0,001 0,000s v,m/c Рис. 3,8. Результаты расчета по методу Монте-Карло зависимости \g k от разности химического потенциала для плоскостей (100) и (111) кремния Рис. 3.9. Зависимость k от скорости перекристаллизации v, рассчитанной на основании теории теплопроводности. Точки соответствуют экспериментальным значениям для случая имплантации висмутом плоскостей (111) (/) и (100) [2) кремния, а кривые (3) — расчетам по уравнению (3.18) лей, которые, как это показано на рис. 3.7, могут быть удовлетворительно аппроксимированы при значениях yfe, равных 0,1 и 0,2. В 1982 г. Жилмером проведен расчет захвата примесных атомов по методу Монте-Карло. К сожалению, его расчеты ограничены диапазоном составов, допустимым в этом методе. Полученные им результаты приведены на рис. 3.8. Зависимость между степенью переохлаждения и содержанием примесных атомов показывает, что плоскость (100) содержит большую концентрацию примесных атомов, чем (111). Однако использование данных рис. 3.2 для перехода от А|х к нормализованной скорости, позволяет показать, что в соответствии с экспериментальными данными при одинаковой скорости на поверхности (111) содержится больше примесных атомов, чем на (100). На рис. 3.9 приведены экспериментальные данные по определению зависимости k от скорости роста для двух различных ориентации кристалла кремния, легируемого висмутом [25]. Экспериментальные точки получены из таких данных, которые приведены на рис. 3.7, посредством подбора значений удовлетворяющих наблюдаемым распределениям. Скорость роста варьировалась при изменении температуры подложки, оказывающей большое влияние на теплопроводность кремния. (Скорости роста рассчитывались с помощью теории теплопроводности [26]. Полученные расчетные значения скорости могут быть неточны, поскольку предполагалось, что независимо от скорости роста граница раздела находится при температуре плавления. Однако экспериментальные данные подтверждают расчетные значения [27]. 73
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 71 72 73 74 75 76 77... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
