Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 70 71 72 73 74 75 76... 423 424 425
|
|
|
|
(3.16) (3.17) При v = 0 уравнение (3.17) сводится к ke, a для конечных значений скорости k может оказаться больше, чем ke. Используя У=v//(+л, можно переписать (3.17) в виде аУ + ехр 1(ял-яв-В)/(к^Т)] V+exp{[(QA-QB)/(^Er)]-bS^//?} ' (3.18) где ь.8в—^нут^и ^ энтропия плавления, которую чистая компонента в имела бы при кристаллизации в структуру кремния; /^sb-— не известна, но можно произвести ее оценку; величина —ГЛ5л) известна из фазовой диаграммы, поскольку k, = exp{^mkst)[ + lsi/r].(3.19) Значения qa и qb не известны, однако в выражении для k входит только их разность (qa—qb). Заметим, что v — нормированная скорость роста, которая стремится к единице при стремлении V к Я+л, т. е. к скорости, при которой матричные атомы присоединяются к кристаллу. Уравнение (3.18) можно сравнить с экспериментальными значениями ky измеренными при различных скоростях роста. Как показано на рис. 3.7, значение k зависит от ориентации [25]. Приведенные данные относятся к случаям имплантации одинаковых доз висмута в плоскости (111) и (100) кремния, а показанные концентрационные профили получаются после облучения равными по мощности импульсами лазера. Хорошо видно различие профи Рис. 3.7. Концентрационные профили висмута после лазерного облучения плоскостей (111) (а) и (100) (б) импульсами с одинаковыми параметрами: 1 — профиль сразу после имплантации 72
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 70 71 72 73 74 75 76... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
