Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 67 68 69 70 71 72 73... 423 424 425
|
|
|
|
Сем о Ga 20 ЦО so 80 Ш Рис. 3.4. Концентрационные профили галлия, имплантированного в кремний, непосредственно после имплантации (1) и после лазерного отжига (2). Используя значения скорости перекристаллизации, рассчитанные с помощью теории теплопроводности, полученный после лазерного отжига профиль можно описать, полагая fe = 0,2, а не равновесному значению 0,08 (случаю ^ = 0,08 соответствует кривая 3), Концентрация имплантированного в кристаллическую решетку галлия значительно превосходит предел растворимости в твердой фазе (4) Рис. 3.5. Фазовая диаграмма системы галлий — кремний (1) и линия солидуса (2), к которой относится внутренняя шкала атомной концентрации галлия может превысить максимальную растворимость в твердой фазе. Наличие в кристалле примесей с концентрацией, значительно превосходящей равновесную, означает, что в процессе его роста преобладают кинетические эффекты. Важно не забывать о различии между процессами на границе раздела, и тем, что происходит в примыкающих к границе раздела фазах при перекристаллизации. На границе раздела происходит фазовый переход, который сопровождается перестройкой атомов (часто посредством небольших перемещений) в структуру с меньшей энергией. Перестройка сопровождается также снижением энтропии за счет уменьшения объема атомов в концентрационном пространстве. Этот процесс отличается от обычного диффузионного, который сопровождается только смещением атомов. Поскольку на границе раздела происходит фазовый переход, эти процессы описываются специфическим набором уравнений, определяющих граничные условия объемной диффузии. Переход выражается в скачкообразном изменении концентрации на границе фаз, которое обычно описывается коэффициентом распределения K = CjCt,(ЗЛО) где Cs — концентрация примеси, определяемая на фазовой диаграм 69
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 67 68 69 70 71 72 73... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
