Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3 4 5 6 7 8... 422 423 424 425
|
|
|
|
ОГЛАВЛЕНИЕ Предисловие..............................10 Глава 1. Обзор методов модифицирования поверхности........И 1.1.Введение..........................11 1.2.Поверхностный нагрев....................13 1.3.Эпитаксиальный рост кристаллов...............15 1.4.Мета стабильные фазы....................17 1.5. Эффекты, обусловленные ионной бомбардировкой......18 1.5.1. Вложенная энергия и каскадные процессы.......18 1.5.2.Распыление и массоперенос...............20 1.6. Область применения и направления будущих исследований . .22 Список литературы..........................23 Глава 2. Поглощение энергии и тепловые потоки при импульсном лазерном, электронном и ионном облучении............24 2.1.Введение..........................24 2.2. Взаимодействие лазерных пучков с полупроводниками ....26 2.2Л. Поглощение света и передача энергии решетке.....26 2.2.2,Эксперименты с измерением параметров в процессе облучения.........................29 2.2.3.Нагрев и охлаждение.................32 2.3. Взаимодействие лазерных пучков с металлами........40 2.3.1.Ввод энергии......................40 2.3.2.Нагрев и охлаждение..................40 2.3.3. Нагрев и охлаждение многослойных систем.......44 2.3.4.Напряженно-деформированное состояние, обусловленное лазерным облучением..................46 2.4. Облучение материалов электронным пучком..........48 2.4.1.Ввод энергии.....................48 2.4.2.Нагрев и охлаждение.................51 2.5. Облучение материалов ионными пучками...........53 2.5.1.Ввод энергии.....у................53 2.5.2,Нагрев и охлаждение . ^...............53 2.6.Заключение.........................54 Список литературы..........................55 Глава 3. Рост кристаллов и фазовые превращения...........58 3.1.Введение..........................58 3.2.Рост кристаллов.......................59 3.2.1.История вопроса....................59 3.2.2. Рост кристаллов как кооперативный процесс......62 3.2.3.Скорости роста кристаллов...............65 3.3.Захват примесных атомов..................68 3.4.Аморфный кремний.....................74
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3 4 5 6 7 8... 422 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
|
|
|
