Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 52 53 54 55 56 57 58... 423 424 425
|
|
|
|
1150 1750 1150 1250 12 h,Mf^M протонами с энергией 300 кэВ,, плотностью энергии в импульсе 2Д Дж/см^ и продолжительно* стью импульса 300 не. Температура на глубине ^2 мкм равномерно возрастает со временем, я слой расплавляется примерно через 120 НС. При большом времени температура, превышаюш,ая температуру плавления, развивается в малых областях на глубине, соответствующей максимуму тормозной способности. Скорость движения границы раздела расплав— твердая фаза во время затвердевания близка к 2 м/с. Поскольку температурный профиль в образце является плоским, эта скорость определяется тепловым потоком в объем тела. 2.6. Заключение нагрева (а) и монокристаллов Рис. 2.29. Кривые охлаждения (б) кремния, облученных пучком протонов с энергией 300 кэВ, плотностью энергии 2,1 Дж/см2 и продолжительностью импульса 300 не Из анализа большого числа экспериментов следует, что в процессе облучения полупроводников наносекундными или пикосекундными импульсами лазерного излучения энергия возбужденных электронно-дырочных пар рассеивается на атомах решетки таким образом, что эти две системы находятся в термическом равновесии. При соответствующих плотностях энергии лазерного импульса поверхностный слой полупроводника плавятся. Следует отметить, однако, что существуют расхождения между расчетами и экспериментальными измерениями протяженности этого процесса. В связи с этим важным является определение коэффициентов оптического поглощения к ограженргя в тонких расплавленных слоях. Другим интересным моментом является определение скорости границы раздела твердое тело — расплав при плавлении и затвердевании. Недавние измерения скорости движения межфазной границы в кремнии показали согласие с расчетами в пределах 10%. Эти эксперименты подтвердили предположения, использованные при теоретической трактовке. Представляется интересным использовать этот метод для йонно-импланти-рованного кремния и других полупроводников. Скорость межфазной границы можно изменять, варьируя параметры лазерного излучения и термические параметры мишени. В связи с этим было выполнено большое число работ по влиянию скорости перемещения 54
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 52 53 54 55 56 57 58... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
