Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 50 51 52 53 54 55 56... 423 424 425
|
|
|
|
з сколько микрометров. Из этого факта вытекают некоторые следствия для скорости движения границы твердая фаза — расплав на стадии охлаждения. Для иллюстрации этих различий на рис. 2.26 приведены результаты расчетов температуры, температурного гра^ диента и производной температуры во времени для алюминиевой мишени, облученной моноэнергетическими импульсами электронов, имеющими треугольную форму, с Энергией 12 кэВ и продолжитель". ностью 15 НС [37]. Эти данные можно сравнить с результатами для лазерного облучения (см. рис. 2.16). Плотность поглощенной энер-гни 0,65 Дж/см^ выбиралась так, чтобы максимальная температура поверхности соответствовала случаю лазерного облучения (см. рис. 2.16, а). Стадия охлаждения приближенно такая же, как при ла^ зерном источнике, в то время как стадия нагрева совершенно от^ лнчна. Энергия вводится на глубину, большую, чем для лазерного пучка, и слой толщиной, равной примерно половине длины пробега электронов, расплавляется почти немедленно. Температура расплава ниже, чем достигаемая при лазерном облучении, и поэтому температурные градиенты меньше. Вблизи поверхности эти градиенты вначале положительны, а позже изменяют знак. Только при лазерном нагреве большие температурные градиенты существуют в течение продолжительного времени, в результате этого, например, в процессе электронного облучения эффектом Соре можно пренебречь. Изменение температуры при охлаждении зависит от толщины расплавленного слоя и от теплофизических свойств образца. Для примера рассмотрим облучение алюминиевых и кремниевых мишеней. Введенная энергия почти одинакова в этих материалах, но толщины расплавлен-ны}с слоев различны. Для импульса с Зїіергией 20 кэВ, плотностью энер-гии 1^5 Дж/см^ и продолжительностью 50 НС расчеты предсказывают плавление на глубинах примерно 1,7 мкм для кремния и 2,6 мкм для алюминия. Средняя скорость движения границы раздела расплав^ твердая фаза составляет 1,7 м/с для кремния и 8,3 м/с для алюминия. Такое большое различие обусловлено более высокой теплопроводностью алюминия и более ]йысокой скрытой теплотой плав^ ления кремния. Эти результаты иллюстрируются на рис. 2.27 [53]. жф тф 0,6 т,мкс Рис. 2.27. Изменение толщины расплавленного слоя в кремнии и аліоминии при облучении электронами [53]: пи — продолжительность импульса; ЖФ — жидкая фаза; ТФ — твердая фаза 52
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 50 51 52 53 54 55 56... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
