Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 49 50 51 52 53 54 55... 423 424 425
|
|
|
|
2.4.2. Нагрев и охлаждение Энергия, введенная в результате действия электронного пучка^ немедленно превращается в теплоту, и распределение температуры повторяет распределение введенной энергии. Для кремния при угле падения пучка менее чем 30° максимум температурного распределения совпадает с поверхностью и дальнейшее уменьшение угла приводит к возрастанию температурного градиента в поверхностном слое. Зная профиль введенной энергии, можно рассчитать параметры нагрева и охлаждения, используя метод, обсуждавшийся^ применительно к лазерному облучению. В работе [52], например,, было рассчитано изменение температуры кремния, облученного импульсным электронным пучком с энергией 20 кэВ, плотностью энергии 2,4 Дж/см^ и длительностью импульса 120 не. Температура поверхности увеличивается в процессе облучения, после 120 не наступает плавление и в таком виде поверхность сохраняется на протяжении 400 НС. Плавление начинается ниже поверхности на глубине ^1,2 мкм, совпадающей с максимумом распределения потерь энергии; поверхность начинает плавиться после окончания импульса, и толщина расплавленного слоя достигает 2,5 мкм. Охлаждение протекает медленно и после 700 не слой толщиной 1,7 мкм остается еще расплавленным. Основные различия с лазерным облучением состоят в глубине^ на которой достигается максимальная температура, и в мннималь-ной толщине расплавленного слоя. При облучении электронный пучком толщина расплавленного слоя составляет, как минимум, не о ол 0,8 1л 16 о ом 0,8 12 16 о ол 0.8 12 tS -1-т 1 / / у '^ff* \ '^^ / У / у / / 40' \ „____-W л а) 8) SO юо '50 Рис, 2.26. Изменение по глубине h и времени х температуры Г/Гпл (^), ее про-тволяои по времени (к/с) (б), и пространственного градиента (К/см) (в) в алюминии, облученном электронами [37] с плотностью энергии 0,65 Дж/см^, длительностью импульса 15 не, энергией 12 кэВ 51
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 49 50 51 52 53 54 55... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
