Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 48 49 50 51 52 53 54... 423 424 425
|
|
|
|
2000 1S0Q 1000 ...... 7/77777/7/'/г В=30кэВ ---а--9Г Ряс. 5.24, Зависимость отраженной энергии £отр ОТ атомного номера Z митепп ирп пормалшом падении пучка электронов энергией ЗО кэВ [50] Рис. 2.25. Распределение потерь энергии ДЯ в кремнии для раз* личных углов падения пучка а [52] чая нормального падения пучка электронов с энергией £пуч 30 кэВ приведена на рис. 2.24 [49, 50]. Для кремниевой мишени величина энергетической потери достигает 8%. Сравнивая с лазерным облу-чением, можно сказать, что потери энергии на обратное рассеяние аналогичны влиянию коэффициента отражения на ввод энергии. Кроме гауссовой аппроксимации, для аналитического описания распределения введенной энергии в кремний, германий и арсенйд галлия используют аппроксимацию полиномами [51]. До сих пор обсуждалось введение энергии при нормальном падении пучка на мишень. Варьируя угол падения электронов, можно менять запасенную энергию. В качестве примера на рис. 2.25 приведены рассчитанные по методу Монте-Карло распределения потерь энергия для двух значений угла падения электронов на кремниевую мишень [52]. С уменьшением угла а от 90° при нормальном падении максимум распределения смеш,ается к поверхности образца, при 30° выходит на нее. С изменением угла падения пучка изменяется не только величина введенной энергии, но и потери энергии за счет обратно рассеянных электронов. В кремниевой мишени эти потери достигают 47% при угле падения 15°, т. е. теряется почти половина энергии электронного пучка. Потери энергии можно сравнить с 8% при нормальном падении электронов. Эти факты должны приниматься во внимание в тех случаях когда, как в большинстве экспериментов по облучению, электронный пучок не моноэкергетйчен и угол его падения на мишень отличается от 90°. 50
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 48 49 50 51 52 53 54... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
