Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 47 48 49 50 51 52 53... 423 424 425
|
|
|
|
ходится на поверхности для гомогенной среды, поглощение и отражение может быть весьма чувствительным к структуре поверхностного слоя, в случае электронного облучения поглощение энергии зависит только от энергии налетающих электронов Е и атомного номера Z вещества мишени. В первом приближении профиль поглощенной энергии может быть аппроксимирован распределением Гаусса [47] ехр—[ (X—Хр)7(2а2)], где и о можно получить из следующего соотношения, которое справедливо в интервале 6^ ^Z^50, т. е. от углерода до олова: ^^,=(0,143Z+0,622)ro;(2.12) а=( 0,05381п Z + 0,374) Tq.(2.13) Значения Го определяются из выражения [48] Гo=ЛЯ^(2.14) где Л=3,92-10-^ + 1,562-10-^; а=1,777...2,165-10-2; го —в г/см^; Е — в кэВ. Например, положение пика, соответствующего максимуму поглощенной энергии и распределению Гаусса для пучка электронов с энергией 20 кэВ в алюминиевой мишени, находится на глубине 1 мкм. Данные для пучка электронов энергией 20 кэВ и мишеней из алюминия и кремния, полученные методом Монте-Карло, сравнивались с гауссов-ской аппроксимацией (рис. 2.23). Высота максимума распределения Гаусса нормализована по данным Монте-Карло. Оба распределения совпадают, что подтверждает предыдущие рассуждения. Для корректного применения этого соотношения, необходимо учитывать энергию, унесенную обратно рассеянными электронами. Потери энергии на обратное рассеяние зависят от атомного номера материала мишени, энергии и угла падения пучка электронов. Зависимость энергии обратно отраженных электронов от атомного номера Z для слу 700 80 60 40 20 ^ О 80 60 Рис. 2.23. Ввод энергии (в про)изволь-ных единицах) в алюминий (а) и кремний (б), облученных электронами с различной энергией, рассчитанный по распределению Гауссш (1) и по методу Монте-Карло (2) 40 20 а) V і \ ^ 23.5пэв ё-^ At — 1 мг[см^ = 3,1 мкм \ \ -'/\ S] f 20кэВ е-^ 5/ УХ ~ \ 1мг/см'^~ Ц. Змкм \ 1 1 ( 1 1 [ 1 ол ол 0.6 0,8 1,мг/см^ 4^
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 47 48 49 50 51 52 53... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
