Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 41 42 43 44 45 46 47... 423 424 425
|
|
|
|
h(Af) Рис. 2.17. Схема движущих процессов, действующих на профиль имплантированной примеси во время лазерного плавления материала: й_ начало плавления; б — через время Д^; D — коэффициент обычной диффузии; 5j — коэффициент Соре; / — обычная диффузия; 2 — обычная диффузия + диффузия Соре 4 Си 8At о РЛ(15нсЛ1Дн/си^) Sr~0 / \ ---5г~-2,6Ю'УК / \ 0 'К У 1 1--І Ь5 ZnBAL I ---5гЧ0'^/К \ (. 1 SOQ ЮОО то 7000 75G0 hA Рис. 2.18. Экспериментальные доказательства существования диффузии Соре в системах а —Al(Cu) (38]; 6^Al(Zn) [361 и e^Ni(Au) (391 при облучении рубиновым лазером с различной плотностью энергии импульса: ^Аи ~ "їисло импульсов НгАи-пленка Лг2 0'^спУс сокие температурные градиенты в жидкой фазе) можно усилить этот эффект. Основные физические механизмы процесса иллюстрируются рис. 2.17. При этом обеднение приповерхностной области и термический сдвиг задней стороны пика имплантированных примесей объясняются в рамках обычной диффузии и диффузии Соре. На рис, 2.18, а, б приведены построенные по данным резерфор-довского обратного рассеяния профили совместно с теоретическими профилями при учете обычной диффузии имплантированных примесей (сплошные линии) или обычной диффузии и диффузии Соре (штриховые линии). На рис. 2.18,в приведены сходные данные для системы никель — золото, полученной другим способом— лазерным перемешиванием слоистой структуры. Все три примера подтверждают наличие диффузии Соре. В системе алюминий — медь [38] основной особенностью, объясняемой подобным образом, является обеднение приповерхностной области медью. Такое обеднение не может быть случайным, поскольку в подобных же условиях эксперимента в системе алюминий —свинец наблюдалось увеличение в поверхностной области концентрации свинца, В системе злюминий — цинк [36] такое обеднение тоже отчасти возможно, 43
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 41 42 43 44 45 46 47... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
