Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 40 41 42 43 44 45 46... 423 424 425
|
|
|
|
Тне о h мкм О ОЦ 08 12 П О 04 0,8 12 16 20 0 04 0,8 12 16 150 . ) 1 J ( 1 ( 1 -г-н? ^ \ ^ \ I 1 I ' { ; / / Oxramde / Hue 0 / : Об а) 6) B) 50 100 150 Рис. 2 16 Изменение по глубине h со временем т температуры (а), ее производной по времени (К/с) (6) и пространственного градиента (К/см) (в) в алюминии, облученном рубиновым лазером Изолинии на (а) соответствуют различным значениям ТІТпл [37] Плотность поглощенной энергии 0,65 Дж/см^, продолжительность импульса 15 не примесей ВО время существования жидкой фазы [37]. В дальнейшем термические неустойчивости будут характеризоваться временем существования жидкой фазы (ГТпл) и соответствующим средним температурным градиентом. Поток примеси для разбавленного раствора, выраженный через концентрацию примеси я (г, t) и температуру образца Т(г, t), запишем как дп дТ dz (2.96) где Д —обычный коэффициент диффузии; 5г — коэффициент Со-ре-процесса (предполагается, что для данного процесса оба коэффициента постоянны) при рассмотрении массопереноса в полупроводниках вторым слагаемым в выражении (2 96) пренебрегают, поскольку высокие температурные градиенты существуют только в течение непродолжительного времени, сравнимого с временем существования расплавленного слоя. Уравнение диффузии примеси приобретает вид dz dz dz'^ (2Л0) Первое слагаемое в правой части — это обычный диффузионный член Можно показать, что третье слагаемое не влияет на окончательный результат и поэтому им можно пренебречь. Второе слагаемое—это диффузионный член Соре и его форма показывает, что сочетанием ионной имплантации (высокие концентрационные градиенты) с плавлением лазерным импульсом (исключительно вы 42
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 40 41 42 43 44 45 46... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
