Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 39 40 41 42 43 44 45... 423 424 425
|
|
|
|
^1800 150 %нс Рис, 2.15. Зависимость температурыГ^об/ поверхности тпоз (й) и толщины рас-плазленного слоя /іпл {б) алюминия от времени т для различных поглощенных энергий [36]: ^ що^иль лазерного импульса ры поверхности и глубины расплавления для различных значений поглощенной энергии лазерного излучения в кристаллах алюминия показана на ряс 2.15. Эти результаты были получены из уравнения теплопроводности для лазерного импульса гауссовой формы дліь тельностью на половине высоты 30 НС. Прн расчетах пред-полагалось, что коэффициент теплопроводности не зависит от температуры и равен 2,2 Вт/(см2.К) —для твердой фазы и 1,1 Вт/(см2.К) для жидкой; ул^льная теплоемкость равна 1,1 Дж/г и скрытая теплота —395 Дж/г. Расчеты показали, что скорости перекристаллизации превышают 20 м/с для поглощенной энергии, меньшей чем 0,6 Дж/см^ [36]. Основное различие между кремнием п алюминием в поведении фронта расплава четко видно при сравнении рис. 2.15,6 и 2.7. В случае полупроводников время расплавления невелико в сравнении с временем затвердевания. В металлах из-за высокой теплопроводности эти стадии сравнимы во времени. Расчеты зависимости температуры от времени и глубины позволяют получить правильные представления о предшествующем изменешй температуры [37]. Данные, представленные на рис. 2.16, относятся к алюминию, облученному импульсами рубинового лазера длительностью 15 не для поглощенной энергии 0,65 Дж/см^. Уровни постоянных значений в плоскости (z, t) дают общую динамику изменения температуры Г (г, t), скоростей нагрева —охлаждения и температурного градиента dTjdz, Изотермическая криваяотносится к предшествующему изменению фронта плавления и перенесена на два других графика для облегчения их интерпретации. Высокие скорости нагрева и охлаждения и исключительно большие отрицательные температурные градиенты (—10' К/см) достигаются на стадии нагрева. Значения дТ/ді и дТ/дг на порядок ниже на стадии охлаждения. Эти неустановнвш2^еся состояния могут быть исследованы с помощью термодиффузии имплантированных 41
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 39 40 41 42 43 44 45... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
