Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 412 413 414 415 416 417 418... 423 424 425
|
|
|
|
при высоких плотностях потока (т. е. более коротких длинах импульсов) глубины проплавлення ограничены поверхностным испарением. Некоторые другие теплофизические факторы, учтенные схемой, приведенной на рис. 13.1, могут также ограничивать поверхностное легирование. При выборе сочетания пленки с подложкой требуется обеспечивать небольшие различия в температурах плавления и давлениях паров. Было бы затруднительно, например, легировать поверхностный слой, используя тонкую пленку из цинка, имеющ,его низкую температуру плавления и высокое давление паров, на подложке из тугоплавкого тантала или вольфрама. Коэффициент температуропроводности также может играть важную роль в рассматриваемых процессах, так как он влияет на длину термодиффузии. Это, в частности, может иметь важное значение, если толщина пленки сравнима с размерами теплового источника. Например в серии экспериментов по лазерному легированию (см. п. 2.3.3), выполненных с системами Ni (ПО)-ьАи(х)+200 А Ni, где х^БОО, 1000, 2000 и 5000А, было обнаружено, что при постоянной плотности лазерного потока глубина проплавлення существенно возрастает с увеличением толщины слоя золота. Эту закономерность можно объяснить тем, что эффективный коэффициент температуропроводности для тонких пленок золота примерно такой же, как у никеля, а для пленок большой толщины он близок к коэффициенту температуропроводности золота и в 5—10 раз выше, чем у никеля. Другой пример, представленный на рис. 2.19, относится к экспериментам, проведенным на слоистом материале из медного сплава с биметаллическим подслоем из никеля Ni и сплава PdxAgi-^:. Испарением в вакууме на подслой была нанесена пленка из золота толщиной 160 нм и обработана сканирующим пучком (Nd—АИГ)-лазера с удвоением частоты и модулированной добротностью. При увеличении содержания серебра в сплаве Pd—Ag эффективный коэффициент температуропроводности рос, что повышало растворение золога. Нормальная спектральная отражательная способность пленки на заданной длине волны лазерного излучения определяет границы процесса обработки, т. е. тот диапазон исходных плотностей потока, при повышении которого достигается воспроизводимое проплавление без испарения. Эти границы реализации процесса могут быть очень узкими, когда высокая отражательная способность приводит к тому, что разность в падающей и поглощенной энергии излучения достигает нескольких порядков. Если же работать на плотностях потока лазерного излучения выше порога плавления, то небольшие изменения локальной отражательной способности могут привести к катастрофическим результатам. 13.3. Системы на основе железа В этом параграфе и в двух последующих будут рассмотрены конкретные примеры поверхностного легирования систем на осно 414
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 412 413 414 415 416 417 418... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
