Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 406 407 408 409 410 411 412... 423 424 425
|
|
|
|
Продолжение табл. 13.1 Нерастворимость в оісидком состоянии Cd —А1Си —Мо РЬ—А1Ag — Ni Сг —СиАи —Ru Pb —Си * Данные для большинства металлов можно найти в литературе по лазерному легированию [2]. Силициды широко освещены в трудах Общества по исследованию материалов [3—5]. Двойные системы сгруппированы соответственно ограничениям фазовых диаграмм в алфавитном порядке по отношению к подложкам. мые В ЖИДКОМ, но ограниченно или совсем нерастворимые в твердом состоянии, а в третью — системы, несмешивающиеся в жидком состоянии. Полную растворимость із твердой фазе можно обнаружить, например, у системы палладий — никель. На рис. 13.3 приведены спектры резерфордовского обратного рассеяния и каналирования, полученные при поверхностном легировании пленок палладия толщиной 1150 А (115 нм) на монокристаллах никеля (по неопубликованным данным Буэне, Дрейпера, Якобсона и Поута за 1980 г.). Время проплавлення ^100 мкс, а плавление пленок производилось с помощью сканирующего СОг-лазера непрерывного действия. Палладий вводился из поверхностной пленки до глубины 1 мкм с концентрацией ^12%. Сравнение общего спектра и спектра, соответствующего ориентации 110, показывает, что атомы палладия замещают атомы никеля в решетке. Однако степень деканалирования показывает, что в процессе лазерной обработки возникают существенные разупорядочение и деформация образца. Следует подчеркнуть,, что в концентрациях, указанных вьіше, пока невозможно ввести легирующий элемент в металл на глубину 1 мкм другими технологическими способами, например ИОНОЙ имплантацией или перемешиванием ионным пучком. Рис. 13.3. Спектры резерфордовского обратного рассеяния и каналирования о для пленки палладия толщиной 1150 А для ориентации монокристалла 110 никеля, который легирован с помощью СОг-лазера непрерывного действия, со средней мощностью 500 Вт и при времени воздействия ^10 мкс: 7 — общий спектр; 2 — спектр для ориента" ции 110 15 Е^МэВ 408
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 406 407 408 409 410 411 412... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
