Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 403 404 405 406 407 408 409... 423 424 425
|
|
|
|
Глава 13. Лазерное поверхностное легирование Л'. У. Дрейпер, Технический исследовательский центр "Вестерн электрик", г. Принстон, штат Нью-Джерси Дж. М. Поут, "Белл Лабраториз", г. Мюррей-Хилл, штат Нью-Джерси По материалам: Л, Буэне, Д. К, Джекобсон 13.1. Введение В данной главе рассмотрено легирование пленок на металлических или полупроводниковых подложках, осуществляемое лазерным нагревом. После краткого введения на конкретных примерах показано, как можно получить широкий диапазон твердых растворов и аморфных фаз. Кроме того, определены термодинамические и теплофизические факторы, накладываюш;ие ограничения на лазерное легирование как на новый метод в металлургии поверхностных слоев. Рассмотрены отдельные примеры, иллюстрирующие использование метода применительно к сплавам на основе железа и других металлов, а также к силицидам. На рис. 13.1 схематически представлена пленка на поверхности подложки, подвергнутая однократному воздействию лазерного облучения. На рисунке обозначены различные теплофизические параметры и параметры лазерного пучка, оказывающие влияние на процесс поверхностного легирования. Символами Д Г и Р° обозначены коэффициент температуропроводности, температура плавления и давление паров подложки (индекс В) или тонкой пленки (индекс А). В дальнейшем роль этих параметров будет описана детально. Сфокусированное лазерное излучение характеризуется длительностью импульса tp, плотностью энергии облучения / и размером пятна фокусировки Cfon. Как было отмечено в п. 2,3.1, отражательная способность Ro у большинства металлов на многих длинах волны лазерного облучения весьма высока и плотность поглощенной энергии может быть намного ниже, чем в падающем потоке. Толщина поглощающего слоя очень мала (обычно ^ЮОА;^ 10 нм) и поэтому для большинства сочетаний пленки и подложки определяющими являются оптические свойства пленки. Поскольку время снятия возбуждения у электронов проводимости после соударения с атомами решетки равно 10-12 с, задачу теплопроводности можно решать в предположении непрерывно действующего поверхностного теплового источника. Время перемещения границы раздела между жидкостью и твердой фазой сравнимо с длительностью импульса облучения. 405
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 403 404 405 406 407 408 409... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
