Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 397 398 399 400 401 402 403... 423 424 425
|
|
|
|
Результаты анализа методом ионного каналирования показали, что для образования аморфной фазы в зоне имплантации требуется присутствие и титана, и углерода при концентрациях ниже 30%. Сравнительные спектры каналирования в результате последовательной имплантации приведены на рис 12,36, где шкала энергий по абсциссе приведена к значениям глубины соответствующего слоя (неопубликованные данные Кнаппа, Пикро и Фольштадта, полученные в 1981 г) Кристалл железа вначале был имплантирован ионами титана при дозе ионов 1 • Ю^'' см"^ и энергии 180 кэВ, что привело к созданию концентрации титана около 107о в слое с глубиной до 700 А (70 нм) При этом зона имплантации имела преимущественно кристаллическую СіруКТуру, что видно по резкому СНИ' жению величины каналирования вдоль оси 100 Затем образец был имплантирован углеродом при дозе ионов 5-10^^ см"^ и энер-гии 50 кэВ, что привело к более глубокому внедрению углерода по сравнению с титаном При этом кристалличность в структуре еще обнаруживалась. Аморфизация структуры была достигнута дополнительной имплантацией углерода (доза ионов 5*10^^ см"^, энергия 30 кэВ), при которой зоны внедрения титана и углерода по глубине перекрывались. Результирующий неупорядоченный слой выявляется на рис 12 36, имея толщину до 700 А, что совпадает с зоной распределения имплантированного титана. Исследования методом каналирования, дополненные снятием профилей концентрации титана и углерода по глубине с помощью Оже-спектроскопии и катодного распыления (неопубликованные данные Зингера, 1981 г), позволили установить примерный состав аморфной фазы Так, при концентрациях титана до 287о концентрация углерода должна составлять по меньшей мере 7%. Напротив, при высоких концентрациях углерода концентрация титана может быть снижена до 10%, а возможно и до 3% список литературы 1Benenson R. е., Kaufmann е. n., МіИег о. l., Scholz w. w., eds Ion Beam Modification of Materials Amsterdam, North Holland, 1981 2Dearnley G. Materials ш Engmeenng Applications, 1978, vol 1, p 28—4L 3Hartley N. E. W., Swindlehurst W. E., Dearnley G., Turner J. F. J Mater. Sci, 1973 vol 8, p 900—904 4Hartley N. E. W, Tnbology, 1975, vol 8, p 65—72 5Picraux S. т., EerNisse E. P., Vook F. L., eds Application of Ion Beams to Metals New York Plenum Press, 1974 6Carter G., Colligen J. J., Grant W. A., eds Application of Ion Beams to Materials London Inst of Physics, 1976 7Brown W. L., ed AVS Symp on Ion Implantation New Prospects for Mater. Modificat J Vac Sci Technol, 1978, vol 15, p 1629—1684 8Preece C. M., Hirvonen J. K., eds Ion Implantation Metallurgy Neu York TMS AIME, 1980 9Ashworth v., Grant W. A., Procter R. P. M., eds Ion Implantation into Metals Pergamon Press, 1982 10Clayton C. R. Nuclear Instrum Methods, 1981, vol 182/183, p 865—873. 11Wolf G, K. Nucl Instrum Methods, 1981, vol 182/183, p 875—885 Ifi Herman H. Nucl Instrum Methods, 1981, vol 182/183, p 887—898 399
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 397 398 399 400 401 402 403... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
