Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 37 38 39 40 41 42 43... 423 424 425
|
|
|
|
ницы с монокристаллом, так и в результате случайного зарождения центров на свободной поверхности [32]. Эти конкурирующие процессы приводят к образованию слоистой структуры, схожей с обнаруженной при электронно-лучевом нагреве [30]. Перенос примесей, если они присутствуют в облученном слое,-происходит во время плавления. Процессы диффузии при нагреве и охлаждении подчиняются уравнению J прчм"" -D, дп дг (2.9а) где /ярим" поток атомов примеси; D^ —коэффициент диффузии в жидкости; п — концентрация примесей. Диффузия в твердой фазе во время лазерного облучения пренебрежимо мала, поскольку соответствующий коэффициент диффузии меньше Di, Температурная зависимость коэффициента диффузии мышьяка в кремнии показана на рис. 2,12 [33, 34], Отметим, что коэффициент диффузии изменяется на несколько порядков при переходе точки плавления. Уширение профиля примеси в первом приближении определяется величиной V^2DiX^^, В качестве примера на рис. 2.13 приведены профили концентрации мышьяка после облучения лазерными импульсами с различными плотностями энергии. Сопоставление значений т, полученных из тепловых расчетов с экспериментальными данными, позволило определить коэффициент диффузии А=2-10-^ cmVc Ы/с 7000 160012Q0 Т/С 0,50,6 Рис. 2.12. Зависимость коэффициента диффузии мышьяка в кремнии от температуры {33, 34]. Разрыв происходит в точке плавления Тпл Рис. 2ЛЗ. Профили мышьяка в имплантированном кремнии после термического отжига (/) и последующего лазерного облучения с различными плотностями энергии: ^ 1.2; 3 2.0; 4 2.4 Дж/см^ 39
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 37 38 39 40 41 42 43... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
