Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 389 390 391 392 393 394 395... 423 424 425
|
|
|
|
вой диаграммы, очень пригодились при изучении метастабильных фаз. Более того, метастабильные имплантированные сплавы могут быть переведены в условия локального термодинамического равновесия посредством отжига. Подобным образом такие равновесные составляющие, как преципитаты, вводятся с исключительно высокими плотностями, что делает возможным наблюдение таких эффектов, которое при других условиях невозможно. другой существенной чертой является возможность контроля распределения имплантированного вещества по глубине слоя. Так, например, можно ввести несколько слоев различного состава в единую матрицу и при соответствующем подборе конфигураций результирующее распределение компонентов обеспечит такой сложный комплекс свойств, как многофазное равновесие или образование ловушек для примесей. Микроскопический масштаб таких процессов по глубине также создает благоприятные условия, так как короткие расстояния диффузионных процессов дают возможность термически активировать их при низких температурах. Нарушение порядка, как неизбежное следствие имплантации, происходящее при очень низких энергиях ионов, полезно в определенных случаях, поскольку может быть использовано, например, для создания требуемых дефектов кристаллической решетки или для создания аморфного состояния. Когда нарушение упорядоченности нежелательно, условия эксперимента могут позволить провести после имплантации отжиг или, что реже встречается, осуществить имплантацию при энергиях, меньших порога нарушения порядка. Имплантированные сплавы поддаются анализу многими микроскопическими методами, включая ионное обратное рассеяние и каналирование, электронную Оже-спектроскопию, масс-спектрометрию вторичных ионов, Мессбауэровскую спектроскопию и трансмиссионную электронную микроскопию. Эксперименты на равновесных сплавах обычно предусматривают нагрев до температур, при которых происходит выход дефектов и выпадение стабильных фаз. Характеристики, успешно исследованные в равновесном режиме, включали: скорости диффузии компонентов [125, 126], растворимости в твердом состоянии [126, 127], тройные фазовые диаграммы [128], механизмы захвата компонентов на преципитатах [129, 130]. Информацию, полученную в перечисленных выше экспериментах с ионными пучками, было бы весьма трудно извлечь обычными металловедческими методами. Намного большее внимание было уделено метастабильным сплавам. У них термически активированная эволюция от начальных условий (после имплантации) к термодинамическому равновесию не приводит к завершенности превращений. В данном случае состояние материала определяется его точной термической предысторией, а обработка имплантацией может в конечном счете привести к получению качественно различных сплавов. В связи с этим набор метастабильных материалов, которые можно получить после имплантации и нагрева, очень велик и этому соответствует большое разно 391
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 389 390 391 392 393 394 395... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
