Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 36 37 38 39 40 41 42... 423 424 425
|
|
|
|
7Q0HM 1000 -750 50 Q 250 = 1170К J AC 0,2 ОМ D,S 0,8 ID 200 Ш a) 200 h,HM 6) Рис, 2.10. Расчет зависимости толщины расплавленного слоя Нпл в аморфном о слое {ЛС) кремния толщиной 750 А от плотности энергии / ямпульса рубинового лазера продолжительностью 30 не Рис. 2.11. Рассчитанные распределения температуры в монокристаллах кремния, о покрытых слоем аморфного кремння {АС) толщиной 2000 А и облученных неодимовым лазером с продолжительностью импульса 30 не [32]: а ~ облучение со стороны аморфного слоя; б — облучение с обратной стороны С быстрым увеличением температуры приповерхностного слоя переохлажденной жидкости, в ней появляются большие температурные градиенты. Нормальная температура плавления достигается довольно быстро и многие эффекты, характерные для переохлажденной жидкости, не наблюдаются (см. рис. 2,11, а). Облучение электронным пучком, однако, приводит к равномерному распределению температуры внутри расплавленного аморфного слоя, в котором впервые были обнаружены эффекты переохлаждения [31]. Температурные градиенты, схожие с теми, что образуются при воздействии электронного пучка, можно получить, облучая обратную сторону ионно-имплантированной полупроводниковой пластины [32], при этом лазерное излучение должно слабо поглош.аться в пластине. Этот случай иллюстрируется на рис. 2.11, б, относящемся к облучению лазером на неодимовом стекле (1,06 мкм) образца кремния толщиной несколько сотен микрометров. Энергия лазерного излучения поглощается в основном аморфным слоем. Сток теплоты находится на той же стороне, что и источник, поэтому поверхность является барьером для рассеяния теплоты. Как показывают рассчитанные профили температуры, температурные градиенты в жидком слое в этом случае практически отсутствуют. Для плотностей энергии между 0,9 и 1,4 Дж/см^ аморфный слой расплавлен, но является переохлажденным. Движущая сила кристаллизации очень велика, и расплав затвердевает как со стороны гра 38
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 36 37 38 39 40 41 42... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
