Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 365 366 367 368 369 370 371... 423 424 425
|
|
|
|
ного механизма и определить оптимальные дозы ионов при поверхностной обработке, необходимо систематическое изменение уровня доз. в диапазоне малых доз для прогнозирования окончательного распределения имплантируемого вещества часто пользуются теорией ЛШШ [68]. Однако при высоких дозах облучения наблюдаемое экспериментально распределение может существенно отличаться от теоретически предсказанного. Это различие может быть следствием распыления и диффузии, активированной облучением (см. гл. 8 и 10). Поскольку большинство исследований по коррозии проводится с высокими дозами имплантации, в них важно контролировать возможное отклонение от прогнозируемого распределения. Иваки [69] сравнил теоретические зависимости концентрации никеля и хрома, имплантируемых по отдельности в мягкую сталь при дозах ионов 5-10^^ см^^ и энергии 150 кэВ, с экспериментальными данными, полученными методом масс-спектрометрии вторичных ионов. Зависимость концентрации никеля от глубины имплантации лишь слегка отклонялась от теоретически предсказанной. При этом большая глубина проникновения, полученная в экспериментах, по-видимому, объясняется активацией диффузии при облучении. В расчетах возможного эффекта активации, приведенных в работе [70], получено значение коэффициента диффузии 10"^^ cmVc, которое примерно соответствует коэффициенту термической диффузии для температуры бОО^С, тогда как при имплантации температура образца не превышала 180°С. Распределение концентрации хрома, полученное методом масс-спектрометрии вторичных ионов, характеризовалось одним пиком на поверхности и одним пиком на глубине, предсказанной теорией ЛШШ при учете распыления. Появление поверхностного пика было объяснено тремя причинами: переносом хрома из-за диффузии, активированной облучением; температурой образца и химическим сродством хрома к кислороду на металлической поверхности. Важно отметить также тот факт, что на окончательное распределение имплантируемого вещества большое влияние оказывает состав образца, подвергаемого обработке. Эгарвал [71] изучил состав поверхностных сплавов на коррозионно-стойкой стали 430, имплантированной никелем. Им отмечено существенное расхождение профиля концентрации никеля, определенного по рентгеновским фотоэлектронным спектрам и расчетным теоретическим профилям с коррекцией на распыление. Из данных, представленных на рис. 12.17, следует, что никелем обогащены наружные слои поверхностного сплава, тогда как рассмотрение результатов, приведенных на рис. 12.18 показывает, что эти слои обеднились хромом, которым обогащены более глубокие слои имплантированной зоны. Приведенные выше результаты не могут быть объяснены избирательным распылением, скорее они соответствуют не подходящей этому случаю модели диффузии, стимулированной облучением, выдвинутой Окамото и Видершихом [72]. Очевидно, что большое 367
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 365 366 367 368 369 370 371... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
