Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 347 348 349 350 351 352 353... 423 424 425
|
|
|
|
таллов [34]. Однако их применимость ограничена достаточно узкой областью, в которой требуется очень высокая стабильность размеров и где не может быть применен более дешевый метод газофазного осаждения, требующий для осуществления высоких температур (900°С). Совместная имплантация титана и углерода снижает дозы, эффективные для повышения износостойкости, по данным работы [18] и неопубликованным данным Джефриса, Больстера и Зингера. Очевидно, и другие элементы (например, гафний), чьи карбиды обладают более высокой жаропрочностью, чем ТіС, должны быть проверены при имплантации для повышения износостойкости. Очевидным развитием описанных выше работ следует считать получение тонконленочных нитридов имплантацией азота. Возможность такого процесса уже показана в работе [35]. Использование метода осаждения с активацией ионным пучком по методике работ [36, 37] обеспечивает регулирование состава и сцепления с подложкой без каких-либо ограничений на толщину пленки, имеющихся при прямой ионной имплантации. Указанный метод сочетает одновременное осаждение и ионную бомбардировку. Пленки, полученные с помощью этого метода, часто обладают повышенными механическими свойствами, но еще более интересны их электрические свойства. На наш взгляд, сочетание воздействия ионных пучков с традиционными методами нанесения покрытий представляется весьма перспективным в будущем для получения тонкопленочных структур, защищающих от изнашивания и коррозии. 12.3.5. Перемешивание ионным пучком Использование перемешивания ионным пучком для регулирования химических и механических свойств поверхностей не получило столь широкого распространения по сравнению с применением в электронике, описанном в предыдущих главах. Различные виды диффузии под влиянием ионного пучка были рассмотрены Дирнли [38]. Ранее им же была описана диффузия в объем из пленок кобальта и иридия на золоте в результате имплантации ионов азота N2" при повышенных (620°С) температурах подложки [30]. Сочетание ІҐ—Аи было выбрано потому, что эти вещества совсем не образуют устойчивых растворов друг в друге, и поэтому получение метастабильного твердого раствора с высокой концентрацией в этом случае более удивительно, чем в случае системы Аи—Со, имеющей ограниченный диапазон существования равновесного твердого раствора. Для осуществления диффузии оказались равно необходимыми нагрев подложки и бомбардировка пучком ионов азота. Дирнли предполагал, что полученные поверхностные сплавы найдут применение в износостойких контактах микроэлектронных цепей. Впоследствии в работе [39] Дирнли и Гуд описали применение диффузии, активированной термическим действием и облучением, 349
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 347 348 349 350 351 352 353... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
