Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 32 33 34 35 36 37 38... 423 424 425
|
|
|
|
Другой крайний случай (рис. 2.5 б) соответствует условию а-^ (2Dtp)^/2; рост температуры за время тр на глубине г, если пренебрегать рассеянием теплоты, определяется выражением ЬТ {z)={ 1 ~i^)/a ехр ( -а^) t^,/(pCp)-(2.6) Скорость нагрева, определяемая отношением М{г)/%рг не зависит от продолжительности импульса и экспоненциально уменьшается с глубиной. Скорость охлаждения можно оценить, учитывая перенос теплоты на расстояние, больше так что требуется время охлаждения a-'^/{2D), и тогда Численные методы решения уравнения теплопроводности позволяют определить ряд важных характеристик, таких, как зависимость температуры от времени и глубины, зависимость толщины расплавленного слоя от плотности энергии, температурные градиенты и скорость движения фронта затвердевания. Как иллюстрацию метода приведем несколько примеров для облученного кремния [27J. f,MKM 200 Ш г, и с т,ис Рис. 2.6. Рассчитанная зависимость температуры Т от времени т на различных глубинах монокристалла кремния [27] (излучение рубинового лазера, плотность энергии 1,7 Дж/см2, длительность импульса 10 не); И — импульс; П — поверхность Рис. 2.7. Кинетика перемещения фронта плавления в кремнии, облученном рубиновым лазером с ллательтстью импульса 10 не и различными плотностями энергии [27]: И — импульс 34
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 32 33 34 35 36 37 38... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
