Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 337 338 339 340 341 342 343... 423 424 425
|
|
|
|
12.2. Преимущества и недостатки ионной имплантации жак метода модификации поверхности Преимущества 1Независимость от пределов растворимости компонентов в твердой фазе 2Легирование не связано с диффузией 3Позволяет быстро классифицировать эффекты, связанные с изменением состава сплава 4Не ухудшаются объемные свойства материала 5Процесс протекает при низкой температуре 6Нет заметного изменения размеров изделия 7Адгезия не играет существенной роли, так как нет явной границы раздела фаз 8Контролируется глубина обработки 9Вакуумно чистый процесс J0 Процесс хорошо контролируется и воспроизводится Недостатки 1Могут обрабатываться поверхности только в зоне прямого действия пучка TIOHOB 2Малая глубина проникновения пучка ионов 3Относительно высокая стоимость оборудования и обработки нения пучка, поэтому его нельзя использовать для обработки образцов со сложной геометрией поверхности. Малая глубина проникновения пучка ионов должна была бы сама по себе сделать имплантацию бесполезной для технических приложений, однако в целом ряде случаев действие имплантированных ионов распространяется намного дальше от поверхности в глубь материала, чем первоначальная глубина проникновения. Это особенно ценно при использовании имплантации в борьбе с изнашиванием и окислением. К преимуществам метода относится и то обстоятельство, что, будучи неравновесным процессом, имплантация приводит к образованию таких сплавов в поверхностных слоях, которые невозможны в обычных условиях из-за ограниченной растворимости или диффузии компонентов, в ряде случаев равновесные пределы растворимости превышены в сплавах, полученных при имплантации, на не-:колько порядков. Ионная имплантация дает также возможность получить в поверхностном слое сплавы вполне определенного состава, что интересно как с прикладной, так и с исследовательской точек зрения. При этом она может быть использована как эффективный метод анализа физического состояния сплава под влиянием легирования. Такое легирование не сопровождается изменением других параметров (например, размера зерна), которые могли бы оказать одновременное влияние на интересующую нас характеристику сплава, например, способность к окислению. Ионная имплантация обладает еще рядом потенциальных преимуществ при обработке локализованных объектов. В частности, свойства поверхности можно оптимизировать без связи с объемными свойствами материала. Имплантацию можно осуществлять при низких температурах без заметного изменения размеров изде 339
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 337 338 339 340 341 342 343... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
