Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 333 334 335 336 337 338 339... 423 424 425
|
|
|
|
Основной причиной ионно-лучевого перемешивания является образование бомбардирующими ионами каскадов атомных столкновений. Ионы с высокими атомными номерами, образующие более плотные каскады, обычно более эффективны в процессах перемешивания. Обнаружено также, что структурные и химические свойства перемешиваемой системы играют важную роль в определении окончательной степени смешения. Например, в системах Ai(Ag) и Al{Sb) серебро хорошо растворяется в алюминии, и процесс перемешивания протекает эффективнее (~2,6 Ag/Xe), сурьма нерастворима в алюминии, и перемешивание менее эффективно (0,5 Sb/Xe). В качестве еще одного примера можно указать более чем на порядок различающиеся степени смешения сурьмы с алюминием и алюминия с сурьмой. Обнаружено также, что перенос сурьмы в поликристаллический алюминий протекает быстрее, чем в монокристаллический. Следует отметить, что для полного понимания процессов, протекающих при ионно-лучевом перемешивании, необходимы дальнейшие исследования. Число атомов, перешедших границу раздела между пленкой и подложкой, можно через фактор эффективности связать с таким же параметром в случае одной только имплантации. Для ионных пучков перемешивание является следствием движения энергетических атомов в твердой мишени (см. гл. 9), в то время как для импульсного плавления процесс перемешивания обусловлен высокими коэффициентами диффузии в жидкой фазе (см, гл. 13). В обоих случаях сплавы требуемого состава быстрее и эффективнее получаются при напылении многослойных пленок. Для многослойных пленок миграция между подложкой и пленкой необходима только для обеспечения хорошей адгезии и непрерывного градиента концентрации по направлению к подложке. 11.6. Заключение Целью этой главы было обсудить различные вопросы образования поверхностных сплавов в металлах при ионной имплантации и импульсном нагреве. На алюминии, выбранном в качестве модели, показано большое разнообразие микроскопических состояний сплавов, которые могут быть получены. При этом были затронуты некоторые новые и до сих пор мало исследованные аспекты применения имплантации и импульсного нагрева. Использование этих методов позволяет наметить путь формирования тонких слоев поверхностных сплавов, ряд из которых невозможно получить другими способами. Возможности одновременно контролировать состав и достигать очень высоких скоростей закалки (10^... 10^^ К/с) дают дополнительные преимущества. Например, зарождение выделений в жидкой фазе может быть изучено в ранее не исследованных временных интервалах. Могут быть исследованы микроструктуры после сверхбыстрого затвердевания и такие неравновесные состояния, как 335
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 333 334 335 336 337 338 339... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
