Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 328 329 330 331 332 333 334... 423 424 425
|
|
|
|
нал. Дефекты кристаллической решетки После импульсного плавления как в чистом, так и в содержа-цдем примеси алюминии всегда имеются дислокации. Плотность дислокационных линий в образцах, имеющих толщину, которая позволяет проводить исследования на просвечивающем электронном микроскопе (^0,3 мкм для алюминия), может зависеть от типа растворенных атомов, но обычно меньше, чем наблюдаемая после доз имплантированных ионов ^10^^ см^^ [31]. После импульсного плавления в чистом алюминии обнаружены также небольшие (^200 А) дислокационные петли. Они приводят к появлению вакансий, концентрация которых равна примерно 10~^. Более точное значение концентрации вакансий будет зависеть от времени плавления, скорости охлаждения и ориентации подложки. Вакансионные петли при наличии примесей после импульсного плавления не наблюдались, что связано главным образом с взаимодействием растворенных атомов с вакансиями [29]. Конечно, наблюдаемое число вакансий примерно в 100 раз меньше концентрации примеси, растворенной в типичных имплантированных сплавах (^1%), и поэтому даже при сильном взаимодействии вакансий с растворенными атомами последние могут занимать узлы решетки. Деформация скольжения наблюдалась как ниже, так и выше порога плавления, когда поперечные термические напряжения превышают предел текучести. Деформация скольжением является наибольшей выше порога плавления, когда температурные градиенты наиболее велики. Поскольку предел текучести зависит от ориентации и плоскости скольжения {111} наклонены к поверхности образца, можно полагать, что деформация скольжением будет также зависеть от ориентации. Температура подложки в процессе импульсного плавления будет оказывать влияние на интенсивность скольжения через температурные градиенты. Например, для алюминия, имплантированного сурьмой и расплавленного импульсным лазером при 200''С, наблюдалось значительное уменьшение протяженности скольжения по сравнению с соответствующими величинами при 100 и 23''С [3]. Влияние растворенных примесей на деформацию скольжения детально не рассматривалось, хотя можно предположить, что оно возможно благодаря воздействию на предел текучести материала. 11.4.2. Микроструктуры растворов Эксперименты по импульсному плавлению алюминия не обнаружили сегрегации примесей на межфазной границе, что обусловлено высокими скоростями движения межфазной границы и интенсивным захватом на ней растворенного вещества. При достаточно низких скоростях границы раздела расплав — твердая фаза можно ожидать, что при сегрегации растворенного вещества и наличии конституционного переохлаждения примесное вещество, оттесненное 330
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 328 329 330 331 332 333 334... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
