Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 317 318 319 320 321 322 323... 423 424 425
|
|
|
|
температурах подложки, при которых вакансии подвижны (дл5Г алюминия это комнатная температура). Кроме петель как в неимплантированном, так и в имплантированном алюминии после импульсного плавления наблюдаются дислокационные линии. Так, авторы работы [31] наблюдали в алюминии, имплантированном цинком, протяженные линии дислокаций, но они не обнаружили дислокационных петель. Отсутствие последних, по-видимому, обусловлено взаимодействием между вакансиями и примесью цинка, что похоже на поведение системы AlCu [29]. Это может быть связано с тем, что дислокационные линии образуются на границе раздела жидкость — кристалл во время быстрого повторного затвердевания. В том случае, когда глубина расплавленного слоя не превышает толщину разупорядоченного имплантацией слоя, например, при лазерном плавлении с пониженной энергией импульса, остаточное разупорядочение может быть значительным. В некоторых случаях зто может привести даже к блокированию эпитаксиального роста [3], и, по-видимому, по такому механизму могут формироваться поликристаллйческие поверхностные слои (см. такл^е п. 11.3.8). 11.3.7. Скольжение В дополнение к дефектам, которые могут быть введены во время эпитаксиальной перекристаллизации на границе раздела расплав— кристалл, существует также возможность введения дефектов за счет термических напряжений, развивающихся в процессе импульсного нагрева. Внутренние термические напряжения являются результатом различия в расширении решетки вдоль больших температурных градиентов между разогретой импульсом гепла поверхностью и подложкой. Если превышается предел текучести материала, эти напряжения могут привести к деформации скольжением. Скольжение возникает в результате движения дислокаций, и следы скольжения обычно являются плоскостями сильно поврежденного материала, содержащими дислокации. Число дефектов, связанных с термическими напряжениями, и степень соответствующей механической деформации поверхностного слоя прямо зависят от термомеханических свойств материала и могут быть обусловлены импульсным нагревом жидкой или твердой фазы. Таким образом, скольжение будет зависеть от материала, ориентации кристалла, наличия примесей, температуры подложки и параметров импульсного нагрева. Термические градиенты, например^ существенно различаются при нагреве лазерным и электронным пучками. Деформацию скольжением в алюминии при импульсном лазерном нагреве можно легко обнаружить при температурах ниже и выше температуры плавления Тил [32]. Параллельные линии, наблюдаемые на рис. 11,17 для энергии ниже (слева) и выше (спра
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 317 318 319 320 321 322 323... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
