Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 29 30 31 32 33 34 35... 423 424 425
|
|
|
|
этих измерений приведены на рис. 2.2. Температура решетки, измеренная из распределения скоростей Максвелла — Больцмана, колеблется между 1200 и 3000 К для плотностей энергий импульса /=1,0...2,5 Дж/см^. Кремниевая мишень затем расплавлялась во^ время лазерного облучения с плотностями энергии выше чем 1,4 Дж/см2. Время-пролетные измерения дают информацию о температуре поверхности образца во время импульсного облучения. Рентгеновские дифракционные измерения, проведенные с кремнием, с временным разрешением во время импульсного облучения рубиновым лазером дают информацию о структуре поверхностного слоя кристалла [25]. Временная задержка между импульсом рубинового лазера с модулированной добротностью и импульсом синхронного излучения длительностью 0,1 НС позволяет исследовать динамику процесса. Эти измерения дают прямую информацию о продолжительности действия и распределении по глубине напряжений вблизи поверхности, связанных с лазерным отжигом. При анализе с точки зрения термического расширения эти данные позволяют определить температуру решетки только ниже поверхности. На рис. 2.3 показаны измеренные значения отражательной способности R вблизи рефлекса (400) за время 100 и 195 не после лазерного облучения, как функция отклонения от угла брегговского отражения для ненапряженного кремния. Уширение связывается с напряжениями решетки, превышающими на 0,5% полученные из рентгеновских данных при 100 не (см. вставку на рис. 2.3), Результаты при 195 НС сходны с результатами при 100 не, у них наблюдается меньшее отклонение от угла Брегга. R 10 ГС то то, woo 800, 600 ш 200 .4. t = 100 ис О OJ 0^ ' W 12 ЇМ 1,6 hM^-^ Рис. 2.3. Интенсивность рассеяния рентгеновских лучей в кремнии вблизи брегговского рефлекса (400) лосле облучетя лазерными импульсами продолжи-^ тельностью 100 и 195 не: Штриховые линии — подгонка с использованием профилей деформаций е, показанных на вставке [25]; А — отсутствие деформации е Рис. 2.4. Распределение температуры Т по глубине Л в кремнии, соответствующее-профилям деформаций, приведенным на рис. 2.3 [25] at
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 29 30 31 32 33 34 35... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
