Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 313 314 315 316 317 318 319... 423 424 425
|
|
|
|
Рис, 11.23. Электронограммы а, б, г и темнопольные изображения (в и д) выделений фазы AlSb в имплантированном сурьмой алюминии после импульсного лазерного плавления (продолжительность воздействия 25 не) при различных температурах алюминиевой подложки: /г-20^С. 3,85 Дж/см^; б, е ЮО'^С, 3,9 Дж/см^; г, а 200°С, 4,1 Дж/см2 •зарождения и роста выделений AlSb, они будут образовываться в жидкой фазе и иметь хаотическую ориентацию. Наблюдается небольшое количество выделений, имеюш,их другую ориентацию (слабые рефлексы, см. рис. 11.11, а) и свидетельствующие о том, что даже небольшие диффузионные перемещения в твердой фазе достаточны для образования заметных выделений. Вероятно, наиболее интересный аспект наблюдения выделений Бри импульсном плавлении сплавов проявляется в использовании возможности измерять субмикросекундные промежутки времени зарождения выделений в жидком состоянии. Это было продемонстрировано для системы Al(Sb) в случае более короткого времени закалки при импульсном лазерном плавлении [3]. Электронограммы на рис. 11.13 показывают, что при импульсном лазерном плавлении выделений в жидкой фазе не наблюдалось для температуры лодложки 20''С. Более точно определить время нахождения системы в двухфазном режиме для данной энергии импульса можно, изменяя температуру подложки. Как показано на рис. 11.13, выделения в жидкой фазе (дифракционные кольца AlSb) наблюдаются для температуры подложки ЮОХ, а для 20^С —нет. Энергию лазерного излучения, выделенную в образце, можно измерить термопарой, прикрепленной к нему, и, учитывая результаты тепловых расчетов, точно определить время нахождения системы в двухфазном режиме (табл. 11.3). При использовании предварительно определенного коэффициента диффузии в жидкой фазе рассчитанное время роста выделений размером до 50 А оказалось равным J0 НС, что говорит об ограниче 11.3. Рассчитанное время нахождения в двухфазном режиме (твердый AlSb -f жидкий АІ) для алюминия, имплантированного сурьмой, после импульсного лазерного плавления при разных температурах алюминиевой подложки Темпера Время Выделения тура двухфазного AlSb подложки, режима, в жидком °с НС al 20 19 Нет 100 30 Есть ш 55 есть 315
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 313 314 315 316 317 318 319... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
