Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 312 313 314 315 316 317 318... 423 424 425
|
|
|
|
вестным значение коэффициента твердофазной диффузии сурьмы в алюминии), не привел к заметным изменениям профиля сурьмы. Такое слабое диффузионное уширение обусловлено локальными выделениями сурьмы в виде фазы AlSb, в которой концентрация сурьмы на несколько порядков выше равновесной растворимости (^0,03%). Выделения AlSb уменьшают миграцию атомов сурьмы, так как при этих времени и температуре заметного растворения выделений и переноса раствора не наблюдается, выделения можно наблюдать в темном поле и при дифракции в просвечиваюнхем электронном микроскопе (рис. 11.11). Как видно на рисунке, выделения фазы AlSb обнаруживаются для случая импульсного плавления электронным пучком, однако имеется одна важная особенность [24]. В случае термического отжига выделения AlSb всегда ориентированы определенным образом относительно решетки матрицы алюминия, на электронограм-мах рефлексы от выделений AlSb располагаются рядом с более яркими рефлексами от монокристаллической матрицы алюминия (рис. 11.11, в). После импульсного плавления дифракционная картина от выделений AlSb имеет вид колец (рис. 11.11, а), что свидетельствует о хаотической ориентировке выделении AlSb относительно алюминиевой матрицы. Следовательно, выделения AlSb, образованные в твердой фазе, дают рефлексы, обусловленные их ориентацией относительно матрицы алюминия, в то время как выделения, образованные в расплаве, дают дифракционные кольца, вид которых определяется тем, что в расплаве отсутствует кристаллическая матрица, фиксирующая ориентацию выделений во время их зарождения и роста. Эти данные для импульсного плавления Al(Sb) могут быть лучше поняты, если рассмотреть равновесную фазовую диаграмму, приведенную на рис. 11.12, При импульсном нагреве имплантированный сплав Al(Sb) достигает весьма высоких температур (вплоть до — 2000°С при плотности энергии импульса 1,6 Дж/cм^, см. рис. 11,10 и 11.11), так что система находится в несмешиваемом жидком состоянии и происходит жидкофазная (ЖФ) диффузия (см. рис. 11.10). в процессе охлаждения система проходит через двухфазное состояние в виде смеси жидкого алюминия и твердых выделений AlSb. Окончательная концентрация сурьмы примерно 1,57о (см. рис. 11.10), что соответствует температурному интервалу 730 ...657^0. Таким образом, если имеется время, достаточное для то 1100 тоо 900 5dd Al -56 жидкость al 1,0 с. ?0 50 Рис. 11.12. Часть равновесной фазовой диаграммы А1—Sb в области больших концентраций алюминия 314
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 312 313 314 315 316 317 318... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
