Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 309 310 311 312 313 314 315... 423 424 425
|
|
|
|
Рнс. и.9. Угловая зависимость нормализованного выхода обратного рассеяния Yn в направлении 110 ,для алюминия, имплантированного медью (а) при дозе 2,9-10^6 см-^ и после плавления импульсным электронным пучком (б) с ллотностьюэнергии 2 Дж/см^ и длительностью .импульса 300 не -„—_ Ґ \ / At \J а) _1_1-1-1-1-—I 6) I I -L 1 -1 •1 1 ip^ -чительно выше равновесной растворимости в твердом состоянии (0,19% при 300°С). Меньшее возрастание концентрации меди в узлах замещ,ения было достигнуто только при термическом отжиге (при 300°С). Возрастание степени замещения по сравнению с термическим отжигом было также получено для алюминия, им-ллантированного галлием после импульсного нагрева электронным пучком, когда плавление не наступало [2]. Можно предположить, что импульсный отжиг твердой фазы требует большего времени нагрева. Так, для галлия в алюминии использовалось четыре импульса продолжительностью по 300 не в отличие от обычно применяемых для плавления одиночных импульсов продолжйтель-востью 10 ... 50 НС. Вещества, которые образуют в алюминии при закалке из жидкой фазы метастабильные растворы замещения приведены, в табл. 11.2, хотя число исследований, выполненных на алюминии, не столь велико, как на кремнии, очевидно, что метастабильные растворы замещения в алюминии могут образовывать значительное число элементов. Более того, тятя имплантация и последующая закалка из жидкого состояния действуют эффективнее, чем только имплантация или имплантация в комбинации с термическим отжигом. Импульсная закалка из жидкой фазы для других металлов не обязательно может быть более эффективной при формировании метастабильных растворов ионной имплантацией, чем при термическом отжиге, несмотря на очевидность этого для алюминия. Можно предположить, что трудности в достижении высоких метастабильных концентраций замещения в алюминии только при имплантации и термическом отжиге обусловлены присутствием дефектов. Обычно образуется множество смещений на атом во время имплантации до достижения концентраций примеси ^Г%; эти дефекты могут взаимодействовать с имплантированными примесями и образовывать комплексы примесей атом — дефект. Атомы больших размеров в решетке алюминия (например, атомы олова) захватывают вакансии, тогда как близкие или меньшие по размерам атомы зи
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 309 310 311 312 313 314 315... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
