Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 308 309 310 311 312 313 314... 423 424 425
|
|
|
|
хрома в решетке алюминия. Дальнейшее уменьшение сигнала для хрома и алюминия при 2,0 Дж/см^ и Тр;^25 не свидетельствует об уменьшении разупорядочения, при этом хром остается полностью в узлах замещения. На рис. 11.7 приведены профили концентрации хрома и уменьшение сигнала каналирования после импульсного лазерного отжига с плотностью энергии 2,0 Дж/см^ и последующего отжига в печи. Результаты печного отжига подтверждают, что закаленный расплав является метастабильным раствором, так как атомы хрома при термическом отжиге возвращаются в незамещенные положения (на это указывает совпадение при 600°С светлых и темных кружков на кривых). Термический отжиг образцов после имплантации хрома не приводит к процессу замещения. Плавление импульсным электронным пучком может также приводить к образованию растворов замещения в алюминии, как показано на рис. 11.8 для слабо растворимых в нем олова и никеля [4]. В данном случае каналированный и случайный сигналы дают степень согласования 0,67 для олова и 0,41 для никеля, для максимальной концентрации 17о после импульсного отжига; подобные же значения после имплантации были ^^0,04 и 0,18 соответственно. Концентрация атомов, находящихся в узлах замещения, превышает предел растворимости в твердом состоянии в 35 раз для олова и в 17 раз для никеля (табл. 11.2). Значительно большее увеличение растворимости в случае алюминия, имплантированного хромом, может быть достигнуто имплантацией с последующим импульсным плавлением, чем только имплантацией. Например, концентрация олова, находящегося в узлах замещения, возрастает от значения, меньшего 0,05% после имплантации, до 0,7% после импульсного плавления. Еще один пример увеличения растворимости при обработке после имплантации импульсным электронным пучком по сравнению с имплантацией меди в алюминий приведен на рис. 11,9. Как для хрома и олова, импульсное плавление существенно увеличивает степень замещения. В этом случае была получена растворимость по типу замещения, равная 2,1%, которая хотя и не превышает максимальную растворимость меди в алюминии, равную 2,5%, она зна 11.2. Максимальная равновесная растворимость в твердом состоянии Со в алюминии и растворимость Ср, полученная ионной имплантацией с последующим импульсным плавлением Элемент Со [21], % Источник Элемент Со [21], % Ср. % Ср/Со Источник Сг 0,400 7,0 (РЛ) 18 [26] Мо 0,070 1,5 (РЛ) 20 Си 2,500 2Д (ЭП) 1 Sn 0,020 0,7 (ЭП) 35 4 Ni 0,023 0,4 (ЭП) 17 [4]" Sb 0,030 0,9 (РЛ) 30 3 РЛ, ЭП — импульсный нагрев рубиновым лазером или электронным пучколї соответственно. 310
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 308 309 310 311 312 313 314... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
