Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 307 308 309 310 311 312 313... 423 424 425
|
|
|
|
вание ионной имплантации и импульсного нагрева рубиновым лазером позволяет достичь растворимости 7% в твердом растворе замещения. Это подтверждается данными по угловой зависимости каналирования, приведенной на рис. 11.6. Имплантация хрома проводилась при комнатной температуре, и импульсное плавление наблюдалось по изменению морфологии поверхности для плотностей энергии 1,4 (б) и 2,0 (в) Дж/см^. Различие в выходе обратнорассе-янных ионов для хрома и алюминия сразу после имплантации свидетельствует о том, что только ионной имплантации недостаточно для формирования метастабильного раствора замещения. После импульсного (тр = 25 не) лазерного нагрева с плотностью энергии 1,4 Дж/см^ угловые зависимости для алюминия и хрома идентичны, что указывает на 100%-ное образование узлов замещения при 7% О 2D0 Ш 600 h,HM Чп О ^ 200 166 110118 _ h,HM 150 WO 50 О 1М2 1Л6 150 b5U-Еобрас ,МэЗ Рис. 11.7. Профили концентрации хрома Ссг, определенные по случайному сигналу (1) и сигналу (2), каналироваиному в направлении 100 пучка для алюминия, имплантированного хромом, обработанного лазерным импульсом с плотностью энергии 2,0 Дж/см^ и продолжительностью импульса 25 не и отожженного при 400 и бОО'^С в течение 15 мин Рис. 11.8. Выходы обратного рассеяния для ориентированного в направлении 110 и случайно ориентированного кристаллов СОК алюминия, имплантированных оловом (а) и никелем (б) при дозе У-Ю^^ см"^ и энергии 150 кэВ после импульсного плавления электронным пучком с плотностью энергии 1,1 Дж/см2 и продолжительностью импульса 50 не 309
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 307 308 309 310 311 312 313... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
