Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 28 29 30 31 32 33 34... 423 424 425
|
|
|
|
пороговой, которая для кремния равна 1,5 Дж/см^. Это увеличение было обусловлено расплавлением поверхностного слоя. Детальное исследование оптических характеристик облученного кремния недавно было проведено в работах [19, 20], используя измерения отражательной способности в зависимости от времени. Исследования показали, что для значительных энергий излучения рубинового лазера отражательная способность для излучения пробного гелий-неонового лазера увеличивается и достигает плато, продолжительность которого равна нескольким сотням наносекунд, т. е. гораздо больше длительности падающего импульса. Поскольку возросшее значение отражательной способности очень близко к отражательной способности жидкого кремения для данной длины волны предполагалось, что поверхностный слой образца расплавлен. Это изменение наступает внезапно, соответствуя фазовому переходу первого рода из твердого состояния в жидкое. Временная зависимость отражательной способности была также проверена при изменении длины волны пробного пучка. В работе [21] для кремния использовались длины волн 0,633 и 0,480 мкм и для них не было обнаружено различия в величине отражательной способности в широком интервале параметров лазерного излучения. Эти экспериментальные данные исключают существование устойчивой электронно-дырочной плазмы высокой плотности. Температура решетки определялась из измерений Раман-эффек-та с разрешением во времени [22] и было установлено, что во время лазерного нагрева решетка остается холодной. В работе [23] показано, что эти данные являются спорными. В работе [24] для измерения температуры кристаллического кремния во время импульсного лазерного облучения использовался время-пролетный метод. По этому методу определяется энергия лтомов кремния, которые испаряются с горячей поверхности образца. Скорость испарения зависит от температуры подложки. Атомы, испущенные с поверхности кремниевой мишени, анализировались квадрупольньш масс-спектрометром и измерялся временной интервал между лазерным импульсом и сигналом спектрометра. Этот метод требует, jnnnlI чтобы время эмиссии атомов было ко ' ротким в сравнении с временем их полета. Типичное время полета 50 мкс в сравнении с 50 не для продолжительности лазерного импульса. Результаты ^^^^ ^7/7 (^0 Рис. 2.2. Температура поверхности монокристаллов кремния, облученных импульсами рубинового лазера с различными плотностями іооо^_4_I_1 2 энергии W [24]: Адл ~ температура плавления кремния 30
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 28 29 30 31 32 33 34... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
